ZAO靶材及其透明导电薄膜性能的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| CONTENTS | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| ·ZnO的结构和性质 | 第12-15页 |
| ·ZAO陶瓷靶材的研究现状 | 第15-17页 |
| ·ZAO薄膜的研究现状 | 第17-24页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 样品的测试 | 第25-30页 |
| ·测试方法 | 第25-30页 |
| 第三章 ZAO靶材的性能 | 第30-46页 |
| ·ZAO靶材的制备 | 第30-31页 |
| ·Al掺杂量对ZAO陶瓷靶材性能的影响 | 第31-36页 |
| ·烧结温度对ZAO陶瓷靶材性能的影响 | 第36-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第四章 衬底温度对玻璃衬底ZAO薄膜性能的影响 | 第46-65页 |
| ·玻璃衬底ZAO薄膜的制备 | 第46-50页 |
| ·微观结构分析 | 第50-52页 |
| ·衬底温度对玻璃衬底ZAO薄膜光学性能的影响 | 第52-61页 |
| ·衬底温度对玻璃衬底ZAO薄膜电阻率的影响 | 第61-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| 第五章 柔性衬底ZAO薄膜的性能研究 | 第65-74页 |
| ·柔性衬底ZAO薄膜的制备 | 第65-66页 |
| ·电阻率分析 | 第66-67页 |
| ·柔性衬底ZAO薄膜的光学性能 | 第67-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 第六章 结论及对后续工作的展望 | 第74-76页 |
| ·主要结论 | 第74-75页 |
| ·对后续工作的展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
