| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 课题的研究进展 | 第15-23页 |
| 1.3 课题的来源和文章组织结构 | 第23-26页 |
| 第2章 横向剪切干涉基本理论 | 第26-46页 |
| 2.1 引言 | 第26-28页 |
| 2.2 常见像差的剪切干涉图 | 第28-33页 |
| 2.2.1 离焦 | 第28-29页 |
| 2.2.2 球差 | 第29-30页 |
| 2.2.3 彗差 | 第30-32页 |
| 2.2.4 像散 | 第32-33页 |
| 2.3 干涉图的相位复原方法 | 第33-41页 |
| 2.3.1 傅里叶变换法 | 第33-35页 |
| 2.3.2 相移干涉测量的基本原理和常用算法 | 第35-41页 |
| 2.4 相位解包裹算法 | 第41-43页 |
| 2.5 波前重构算法 | 第43-45页 |
| 2.6 小结 | 第45-46页 |
| 第3章 光栅横向剪切干涉仪中抑制零级串扰的相位复原算法 | 第46-74页 |
| 3.1 相位复原算法的设计意义及原理 | 第46-53页 |
| 3.1.1 基本结构和测量原理 | 第46-49页 |
| 3.1.2 零级串扰误差 | 第49-50页 |
| 3.1.3 相位复原算法的设计基本原理 | 第50-53页 |
| 3.2 相位复原算法 | 第53-59页 |
| 3.2.1 重点优化相移误差的A类相移算法 | 第53-58页 |
| 3.2.2 重点优化零级串扰误差的B类算法设计 | 第58-59页 |
| 3.3 仿真实验 | 第59-68页 |
| 3.3.1 A类算法的仿真实验 | 第59-65页 |
| 3.3.2 B类算法的仿真实验 | 第65-67页 |
| 3.3.3 A类和B类算法的对比仿真实验 | 第67-68页 |
| 3.4 实验验证 | 第68-71页 |
| 3.4.1 抑制零级串扰的相位复原算法的原理验证实验 | 第68-70页 |
| 3.4.2 重复精度实验 | 第70-71页 |
| 3.5 小结 | 第71-74页 |
| 第4章 光栅横向剪切干涉仪中零级串扰误差的标定补偿方法 | 第74-100页 |
| 4.1 零级串扰误差标定的意义 | 第74-75页 |
| 4.2 标定补偿方法的理论分析 | 第75-76页 |
| 4.2.1 标定参数计算 | 第75-76页 |
| 4.2.2 零级串扰的补偿 | 第76页 |
| 4.3 标定补偿方法的误差分析 | 第76-82页 |
| 4.3.1 零级串扰的光强分布标定误差 | 第76-79页 |
| 4.3.2 复原相位标定误差 | 第79-82页 |
| 4.4 仿真实验 | 第82-89页 |
| 4.4.1 零级误差标定的仿真 | 第83-85页 |
| 4.4.2 剪切干涉测量的仿真 | 第85-87页 |
| 4.4.3 相位复原误差的影响因素 | 第87-89页 |
| 4.5 实验验证 | 第89-97页 |
| 4.5.1 相位复原 | 第89-93页 |
| 4.5.2 相位复原对照试验 | 第93-96页 |
| 4.5.3 重复精度试验 | 第96-97页 |
| 4.6 小结 | 第97-100页 |
| 第5章 结论和展望 | 第100-104页 |
| 5.1 结论 | 第100-101页 |
| 5.2 研究展望 | 第101-104页 |
| 参考文献 | 第104-114页 |
| 致谢 | 第114-116页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第116页 |
