| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 光纤 MEMS 法布里珀罗传感器的研究现状 | 第9-17页 |
| 1.2.1 膜片式光纤法珀传感器 | 第9-11页 |
| 1.2.2 光纤法珀传感器解调方法研究现状 | 第11-17页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 光纤法布里珀罗腔理论 | 第19-30页 |
| 2.1 法珀腔多光束干涉理论 | 第19-21页 |
| 2.2 光纤 MEMS 法珀腔声压传感 | 第21-23页 |
| 2.2.1 薄膜声压传感原理 | 第21-22页 |
| 2.2.2 光纤法珀腔的结构 | 第22-23页 |
| 2.3 光纤法珀腔损耗 | 第23-29页 |
| 2.3.1 空气腔损耗 | 第24-25页 |
| 2.3.2 反射面倾斜损耗 | 第25-26页 |
| 2.3.3 损耗对条纹对比度的影响 | 第26-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 光纤法布里珀罗腔强度解调 | 第30-36页 |
| 3.1 法珀腔强度解调原理 | 第30-32页 |
| 3.1.1 腔长灵敏度 | 第30-31页 |
| 3.1.2 动态测量范围 | 第31-32页 |
| 3.2 基于光纤光栅的强度解调方法 | 第32-35页 |
| 3.2.1 自补偿式 | 第32-34页 |
| 3.2.2 双波长法 | 第34-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 光纤法布里珀罗腔强度解调系统设计 | 第36-50页 |
| 4.1 解调系统光路设计 | 第36-39页 |
| 4.1.1 宽带光源选择 | 第36-37页 |
| 4.1.2 光纤光栅滤波器的选择 | 第37-38页 |
| 4.1.3 光路中其它器件 | 第38-39页 |
| 4.2 解调系统信号采集及处理系统 | 第39-42页 |
| 4.2.1 微弱光电信号检测 | 第39页 |
| 4.2.2 信号调理及数模转换 | 第39-41页 |
| 4.2.3 数字信号处理 | 第41-42页 |
| 4.3 解调系统性能测试 | 第42-45页 |
| 4.4 解调系统测试结果分析 | 第45-49页 |
| 4.4.1 稳定性 | 第45-46页 |
| 4.4.2 解调结果 | 第46-47页 |
| 4.4.3 自补偿环节降噪实验结果 | 第47-48页 |
| 4.4.4 双波长差动环节实验结果 | 第48-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 声压解调测试 | 第50-58页 |
| 5.1 传感探头的选择 | 第50-51页 |
| 5.2 声压传感测试系统 | 第51-52页 |
| 5.3 声传感实验结果 | 第52-56页 |
| 5.3.1 解调结果 | 第52-54页 |
| 5.3.2 声压灵敏度 | 第54-55页 |
| 5.3.3 频响特性 | 第55-56页 |
| 5.4 噪声及误差分析 | 第56-57页 |
| 5.4.1 系统本底噪声 | 第56-57页 |
| 5.4.2 信噪比 | 第57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65页 |