| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 超精密工作台宏动台的控制方法 | 第8-11页 |
| 1.2.1 步进电机及驱动器 | 第9-10页 |
| 1.2.2 正弦细分技术 | 第10-11页 |
| 1.3 宏动台的材料选择 | 第11-13页 |
| 1.4 压电陶瓷驱动算法研究 | 第13-14页 |
| 1.5 本文研究的主要内容 | 第14-15页 |
| 第2章 超精密工作台宏动台的搭建 | 第15-19页 |
| 2.1 概述 | 第15页 |
| 2.2 步进电机的选取 | 第15-16页 |
| 2.2.1 步进电机种类的选取 | 第15页 |
| 2.2.2 步进电机的输出转矩计算 | 第15-16页 |
| 2.3 宏动台的总体设计 | 第16-18页 |
| 2.3.1 宏动台总体框图 | 第16-17页 |
| 2.3.2 步进电机驱动电路 | 第17-18页 |
| 2.4 本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 步进电机驱动控制系统设计 | 第19-30页 |
| 3.1 细分步进驱动 | 第19-21页 |
| 3.2 闭环控制 | 第21-22页 |
| 3.3 加减速控制 | 第22-23页 |
| 3.4 PI 参数自整定模糊控制器 | 第23-27页 |
| 3.4.1 PI 参数模糊自整定控制器构成 | 第24页 |
| 3.4.2 PI 参数自整定模糊控制器算法 | 第24-27页 |
| 3.5 常规 PID 调节器和 PI 参数自整定模糊控制的对比仿真 | 第27-29页 |
| 3.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 宏动台材料的热力和动力学分析 | 第30-48页 |
| 4.1 常见材料介绍 | 第30-32页 |
| 4.2 常见材料物理性质 | 第32-36页 |
| 4.3 材料热分析 | 第36-42页 |
| 4.3.1 稳态传热分析 | 第37-39页 |
| 4.3.2 瞬态传热分析 | 第39-40页 |
| 4.3.3 热-结构耦合分析 | 第40-42页 |
| 4.4 材料结构模态分析 | 第42-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 微动台的压电陶瓷非线性校正 | 第48-54页 |
| 5.1 Nurbs 插补与传统插补方法的对比 | 第48-49页 |
| 5.2 Nurbs 插补的实现过程 | 第49-51页 |
| 5.2.1 Nurbs 曲线的定义 | 第49-50页 |
| 5.2.2 Nurbs 快速插补的实现 | 第50-51页 |
| 5.3 Nurbs 曲线的实现 | 第51-52页 |
| 5.3.1 Nurbs 曲线的实现流程 | 第51页 |
| 5.3.2 弓高误差的补偿 | 第51-52页 |
| 5.4 Nurbs 插补实例 | 第52-53页 |
| 5.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 在学研究成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |