LSPR接触光刻探针的检测实验研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 局域表面等离子体直写光刻技术研究进展 | 第12-14页 |
| 1.3 微位移与微小角度检测技术研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 论文研究来源及内容安排 | 第16-18页 |
| 第二章 LSPR接触光刻探针的检测方案设计 | 第18-25页 |
| 2.1 LSPR接触光刻探针检测问题的来源 | 第18-20页 |
| 2.1.1 LSPR接触光刻原理 | 第18-19页 |
| 2.1.2 检测问题的提出 | 第19-20页 |
| 2.2 课题需要解决的关键指标与技术 | 第20-21页 |
| 2.2.1 检测系统指标要求 | 第20-21页 |
| 2.2.2 课题中需要解决的关键技术 | 第21页 |
| 2.3 LSPR探针光刻检测方案设计 | 第21-24页 |
| 2.3.1 基于光束偏转法的检测方案设计 | 第21-23页 |
| 2.3.2 光路结构参数计算 | 第23-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 检测系统关键器件选择与实验平台搭建 | 第25-36页 |
| 3.1 关键器件选择与分析 | 第25-27页 |
| 3.1.1 光电传感器的选择 | 第25-26页 |
| 3.1.2 入射光源的选择 | 第26-27页 |
| 3.2 基于PSD的光斑位置检测技术 | 第27-32页 |
| 3.2.1 PSD光斑位置检测原理分析 | 第27-29页 |
| 3.2.2 PSD参数确定 | 第29-30页 |
| 3.2.3 He-Ne激光器参数确定 | 第30-32页 |
| 3.3 检测系统实验平台搭建 | 第32-34页 |
| 3.3.1 PSD位置调整装置设计 | 第32-33页 |
| 3.3.2 激光器与探针的安装设计 | 第33-34页 |
| 3.4 整体实验平台搭建 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 系统软件设计 | 第36-49页 |
| 4.1 系统软件功能要求 | 第36页 |
| 4.2 基于LABVIEW的系统软件设计 | 第36-37页 |
| 4.3 光斑位置数据采集软件设计 | 第37-41页 |
| 4.3.1 USB数据采集模块设计 | 第38-39页 |
| 4.3.2 PSD数据处理模块设计 | 第39-41页 |
| 4.4 微位移运动台控制软件设计 | 第41-46页 |
| 4.4.1 微位移运动台与虚拟仪器的接口 | 第42-43页 |
| 4.4.2 微位移运动台程序设计 | 第43-46页 |
| 4.5 导入光刻图形文件软件设计 | 第46-48页 |
| 4.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 检测系统标定函数与误差影响因素分析 | 第49-64页 |
| 5.1 检测系统理论标定函数分析 | 第49-51页 |
| 5.2 检测系统标定实验 | 第51-56页 |
| 5.2.1 Z向位移的标定 | 第52-53页 |
| 5.2.2 绕Y轴偏转角的标定 | 第53-54页 |
| 5.2.3 绕X轴偏转角的标定 | 第54-55页 |
| 5.2.4 系统标定函数确定 | 第55-56页 |
| 5.3 检测系统误差影响因素分析 | 第56-62页 |
| 5.3.1 PSD自身非线性误差分析 | 第56-58页 |
| 5.3.2 背景光对光斑位置的影响 | 第58-59页 |
| 5.3.3 光源质量对测量精度的影响 | 第59-62页 |
| 5.4 检测系统测量分辨力分析 | 第62页 |
| 5.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 检测系统实验 | 第64-75页 |
| 6.1 实验平台简介 | 第64-65页 |
| 6.2 接触区间判断能力实验 | 第65-66页 |
| 6.3 探针初始偏角调整能力实验 | 第66-73页 |
| 6.3.1 粗调实验 | 第66-68页 |
| 6.3.2 电子放大镜分辨能力分析 | 第68-70页 |
| 6.3.3 精调实验 | 第70-73页 |
| 6.4 最终综合实验 | 第73-74页 |
| 6.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第七章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 7.1 全文总结 | 第75-76页 |
| 7.2 展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第82-83页 |
