| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 压电式传感执行器的研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.2 压电谐振传感器的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 国内外研究现状分析 | 第17-18页 |
| 1.4 本课题的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 压电传感执行器的数学建模与结构设计 | 第20-32页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 压电式执行器的数学建模 | 第20-25页 |
| 2.2.1 压电陶瓷的基本理论 | 第20-22页 |
| 2.2.2 压电叠堆的数学模型 | 第22-25页 |
| 2.3 石英谐振式传感器的理论基础 | 第25-29页 |
| 2.3.1 石英晶体的压电效应 | 第25-26页 |
| 2.3.2 石英晶体谐振器的力- 频特性 | 第26-29页 |
| 2.4 压电传感执行器的结构设计及封装 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 压电叠堆传感执行器的仿真分析 | 第32-49页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 有限元分析模型的构建 | 第32-34页 |
| 3.3 石英晶振片的频率特性分析 | 第34-40页 |
| 3.3.1 石英晶振片电极结构对谐振频率的影响分析 | 第34-37页 |
| 3.3.2 石英晶振片力-频特性分析 | 第37-40页 |
| 3.4 压电叠堆传感执行器动力学特性仿真 | 第40-43页 |
| 3.4.1 结构模态及谐响应分析 | 第40-41页 |
| 3.4.2 瞬态分析 | 第41-42页 |
| 3.4.3 应力分析 | 第42-43页 |
| 3.5 石英晶振片振荡差频电路设计和仿真 | 第43-48页 |
| 3.5.1 振荡差频电路设计 | 第43-46页 |
| 3.5.2 振荡差频电路仿真 | 第46-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 压电叠堆传感执行器的实验研究 | 第49-65页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 实验系统的设计与搭建 | 第49-53页 |
| 4.2.1 样机的加工与调试 | 第49-51页 |
| 4.2.2 实验平台的搭建 | 第51-53页 |
| 4.3 压电传感执行器的位移输出特性 | 第53-56页 |
| 4.3.1 直流激励信号下位移输出特性 | 第53-54页 |
| 4.3.2 交流激励信号下位移输出特性 | 第54-56页 |
| 4.4 压电叠堆传感执行器的力传感特性 | 第56-64页 |
| 4.4.1 零位移输出时传感器的力-频特性 | 第56-57页 |
| 4.4.2 静态位移输出时传感器的力-频特性 | 第57-58页 |
| 4.4.3 动态位移输出时传感器的力-频特性 | 第58-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |