新型夹层式磁悬浮式二维纳米定位平台建模及数字控制系统研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·研究的目的和意义 | 第10-12页 |
| ·研究背景 | 第10-12页 |
| ·研究目的及意义 | 第12页 |
| ·磁悬浮技术发展现状 | 第12-14页 |
| ·磁悬浮系统驱动控制技术发展 | 第14-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-18页 |
| ·研究磁悬浮技术的意义 | 第15页 |
| ·本文的研究内容 | 第15-18页 |
| 第2章 磁悬浮纳米定位平台结构及电磁分析 | 第18-30页 |
| ·系统功能和结构介绍 | 第18-20页 |
| ·系统整体功能设计 | 第18-20页 |
| ·磁悬浮定位平台电磁分析 | 第20-28页 |
| ·直线电机结构 | 第20-23页 |
| ·Halbach 永磁阵列分析 | 第23-26页 |
| ·平面线圈绕组电磁力分析 | 第26-28页 |
| ·本章总结 | 第28-30页 |
| 第3章 磁悬浮纳米定位平台系统的动力学模型 | 第30-40页 |
| ·空间矢量控制原理与 DQ 分解 | 第30-34页 |
| ·磁悬浮平台的动力学模型 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 磁悬浮定位平台数字控制系统及位移反馈系统 | 第40-62页 |
| ·永磁同步直线电机的驱动 | 第40-44页 |
| ·直线电机控制方式选择 | 第40-41页 |
| ·SVPWM 技术及其原理 | 第41-44页 |
| ·功率放大电路 | 第44-48页 |
| ·功率放大电路类型的确定 | 第44-46页 |
| ·驱动电路设计研究 | 第46-48页 |
| ·磁悬浮纳米定位平台控制电路研究 | 第48-52页 |
| ·控制器需求分析 | 第48-50页 |
| ·DSP 及 FPGA 的选型 | 第50-52页 |
| ·定位平台位移反馈系统的构建 | 第52-60页 |
| ·精密位移测量元件选择 | 第52-54页 |
| ·定位平台激光干涉仪信号处理 | 第54-57页 |
| ·USB 传输电路设计 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 实验及仿真分析 | 第62-72页 |
| ·平台热力学静力学仿真 | 第62-64页 |
| ·平台热力学仿真 | 第62-63页 |
| ·平台静力学分析 | 第63-64页 |
| ·驱动电路板的制作 | 第64-65页 |
| ·电路 PWM 输出测试 | 第65-67页 |
| ·位移反馈系统 | 第67-71页 |
| ·激光干涉仪差分波输出 | 第67-68页 |
| ·FPGA 中 QEP 计数模块调试 | 第68-70页 |
| ·USB 传输电路设计 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第6章 总结 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
