| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·微细加工技术 | 第9-11页 |
| ·微细加工的特点 | 第9页 |
| ·微细加工技术的研究现状 | 第9-11页 |
| ·精密定位系统 | 第11-14页 |
| ·精密定位系统的控制技术 | 第11-13页 |
| ·精密定位系统的研究现状 | 第13-14页 |
| ·本课题主要研究内容与章节安排 | 第14-16页 |
| 2 压电致动器的实验建模 | 第16-32页 |
| ·压电致动器特性实验 | 第16-19页 |
| ·迟滞特性实验测试 | 第16-18页 |
| ·蠕变特性实验测试 | 第18-19页 |
| ·迟滞特性建模 | 第19-29页 |
| ·Preisach模型建模 | 第19-22页 |
| ·多项式拟合建模 | 第22-29页 |
| ·微位移器的动态特性建模 | 第29-30页 |
| ·微位移器的输出位移仿真模型 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 压电陶瓷微位移器的闭环控制及仿真 | 第32-40页 |
| ·前馈补偿的复合校正 | 第32-33页 |
| ·压电致动器不带前馈闭环控制仿真实验 | 第33-36页 |
| ·压电致动器带前馈闭环控制仿真实验 | 第36-39页 |
| ·前馈为逆静态模型的压电动器闭环控制 | 第36-37页 |
| ·前馈为逆Preisach模型的压电致动器闭环控制 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 宏微两级精密定位平台控制系统硬件设计 | 第40-56页 |
| ·系统总体结构 | 第40页 |
| ·微位移平台的硬件组成 | 第40-54页 |
| ·硬件设计方案 | 第40-42页 |
| ·处理器模块 | 第42-45页 |
| ·存储模块 | 第45-47页 |
| ·驱动与检测模块 | 第47-52页 |
| ·人机交互模块 | 第52-54页 |
| ·宏位移机构 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 微位移平台控制系统的软件设计和测试 | 第56-64页 |
| ·控制系统软件设计 | 第56-61页 |
| ·总体框架 | 第56页 |
| ·管理程序设计 | 第56-58页 |
| ·位置控制程序设计 | 第58-60页 |
| ·人机界面软件设计 | 第60-61页 |
| ·精密定位系统调试 | 第61-63页 |
| ·系统调试平台 | 第61页 |
| ·阶跃响应调试 | 第61-62页 |
| ·正弦响应调试 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·总结 | 第64页 |
| ·展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 附录 | 第70-72页 |
| 附录一：攻读硕士学位期间发表的论文和出版著作情况 | 第70-71页 |
| 附录二：系统硬件设计原理图 | 第71-72页 |