基于摩擦诱导方法的多点接触微米级加工设备研制
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10-13页 |
| ·摩擦诱导微纳米加工原理 | 第13-15页 |
| ·扫描探针显微镜概述 | 第15-16页 |
| ·扫描探针显微镜原理 | 第15-16页 |
| ·扫描探针显微镜局限 | 第16页 |
| ·本文的选题意义及研究内容 | 第16-19页 |
| ·本文的选题意义 | 第16-17页 |
| ·本文的研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 方案设计 | 第19-25页 |
| ·方案探讨与选择 | 第19-21页 |
| ·设备工作原理及工作过程 | 第21-23页 |
| ·关键技术概述 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 多点接触的实现 | 第25-28页 |
| ·多针尖阵列的制造 | 第25-26页 |
| ·平行度的调节 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 载荷的精确检测与控制 | 第28-43页 |
| ·赫兹接触应力计算 | 第28-29页 |
| ·位移传感器 | 第29-31页 |
| ·悬臂梁的设计与制造 | 第31-37页 |
| ·载荷信号的采集及处理 | 第37-41页 |
| ·载荷信号的采集 | 第37-39页 |
| ·载荷信号的处理 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第五章 高精度扫描驱动系统 | 第43-51页 |
| ·高精度马达驱动部件 | 第43-44页 |
| ·控制信号生产及输出 | 第44-48页 |
| ·控制信号的生成 | 第44-47页 |
| ·控制信号的输出 | 第47-48页 |
| ·加工系统 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 设备功能实验验证 | 第51-56页 |
| ·实验材料和设备 | 第51-52页 |
| ·实验方法和操作步骤 | 第52-53页 |
| ·加工实例 | 第53-55页 |
| ·纳米压印硅模具加工实例 | 第53-54页 |
| ·光栅加工实例 | 第54-55页 |
| ·设备应用展望 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论与展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第63页 |
