| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-17页 |
| ·研究背景 | 第9-13页 |
| ·太阳能电池发展历程和应用现状 | 第9-10页 |
| ·CIGS 太阳电池的研究现状 | 第10-13页 |
| ·CIGS 薄膜太阳电池窗口层概述 | 第13页 |
| ·ZnO：Al 薄膜 | 第13-15页 |
| ·ZnO 薄膜简介 | 第13-14页 |
| ·AZO 薄膜特性 | 第14-15页 |
| ·本文的研究内容、目的和意义 | 第15-17页 |
| 第二章 试验过程和测试手段 | 第17-24页 |
| ·试验设备简介 | 第17-20页 |
| ·磁控溅射原理 | 第17-19页 |
| ·磁控溅射设备特点 | 第19-20页 |
| ·CIGS 薄膜太阳电池窗口层的制备 | 第20-21页 |
| ·高阻 ZnO 窗口层的制备 | 第20-21页 |
| ·低阻 ZnO 窗口层的制备 | 第21页 |
| ·薄膜样品的制备与测试 | 第21-24页 |
| ·高阻 ZnO 薄膜的制样与测试 | 第21-22页 |
| ·低阻 ZnO 薄膜的制样与测试 | 第22-24页 |
| 第三章 高阻 ZnO 窗口层的特性研究 | 第24-28页 |
| ·高阻 ZnO 薄膜在 CIGS 太阳电池上的作用 | 第24页 |
| ·氧气含量对高阻 ZnO 薄膜特性的影响 | 第24-26页 |
| ·氧气含量对薄膜生长速率的影响 | 第25页 |
| ·氧气含量对薄膜表面形貌的影响 | 第25页 |
| ·氧气含量对薄膜光学特性的影响 | 第25-26页 |
| ·氧气含量对薄膜电学特性的影响 | 第26页 |
| ·工作气压对高阻 ZnO 薄膜特性的影响 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 低阻 ZnO 窗口层的特性研究 | 第28-42页 |
| ·透明导电薄膜在 CIGS 薄膜太阳电池上的作用 | 第28页 |
| ·衬底走速对 ZnO：Al 薄膜特性的影响 | 第28-30页 |
| ·低阻 ZnO 窗口层薄膜大面积均匀性的研究 | 第30-37页 |
| ·直流功率和工作气压对薄膜晶格结构的影响 | 第33-34页 |
| ·直流功率、工作气压对薄膜形貌的影响 | 第34-35页 |
| ·直流功率和工作气压对薄膜电学、光学特性的影响 | 第35-37页 |
| ·厚度对 ZnO：Al 薄膜特性的影响 | 第37-40页 |
| ·厚度对薄膜晶格结构的影响 | 第37-38页 |
| ·厚度对薄膜电学特性的影响 | 第38-39页 |
| ·厚度对薄膜透过率的影响 | 第39页 |
| ·厚度对薄膜形貌的影响 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第五章 CIGS 太阳电池的制备和性能测试 | 第42-46页 |
| ·CIGS 太阳电池的制备 | 第42-45页 |
| ·背接触层 | 第42页 |
| ·铜铟镓硒吸收层 | 第42-43页 |
| ·CdS 缓冲层 | 第43-44页 |
| ·ZnO 窗口层 | 第44-45页 |
| ·Ni-Al 栅电极 | 第45页 |
| ·CIGS 太阳电池的性能测试 | 第45-46页 |
| 第六章 总结与展望 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |