薄膜太阳能电池电极材料及陷光结构的构建与研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·薄膜太阳能电池 | 第10-11页 |
| ·透明导电氧化物薄膜 | 第11-17页 |
| ·ITO 薄膜制备及应用 | 第12-14页 |
| ·AZO 薄膜制备及应用 | 第14-17页 |
| ·陷光结构 | 第17-18页 |
| ·问题的提出及本课题主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 透明电极的沉积及表征 | 第20-29页 |
| ·薄膜的制备方法和设备 | 第20-24页 |
| ·衬底清洗 | 第20页 |
| ·薄膜沉积基本方法 | 第20-22页 |
| ·磁控溅射制备 ITO 薄膜 | 第22-23页 |
| ·磁控溅射制备 AZO 薄膜 | 第23-24页 |
| ·薄膜性能测试方法及仪器 | 第24-27页 |
| ·薄膜的厚度表征 | 第24页 |
| ·薄膜方块电阻的表征 | 第24-25页 |
| ·薄膜透射率的表征 | 第25页 |
| ·薄膜载流子浓度与迁移率的表征 | 第25-26页 |
| ·薄膜表面形貌性能表征 | 第26-27页 |
| ·陷光结构制作及表征 | 第27-29页 |
| 第三章 电极薄膜的结果测试及分析 | 第29-42页 |
| ·衬底温度对 ITO 薄膜性能影响 | 第29-32页 |
| ·温度对 ITO 薄膜可见光平均透过率的影响 | 第29-30页 |
| ·温度对 ITO 薄膜电学性能的影响 | 第30-31页 |
| ·温度对 ITO 表面粗糙度的影响 | 第31-32页 |
| ·功率对 ITO 薄膜性能影响 | 第32-35页 |
| ·溅射功率对 ITO 薄膜可见光平均透过率的影响 | 第32-33页 |
| ·溅射功率对 ITO 薄膜电学性能的影响 | 第33-35页 |
| ·掺杂比例对 AZO 薄膜性能影响 | 第35-39页 |
| ·掺杂比例对 AZO 薄膜电学性能的影响 | 第35-36页 |
| ·掺杂比例对 AZO 薄膜透过率的影响 | 第36-39页 |
| ·压强对 AZO 薄膜性能的影响 | 第39-41页 |
| ·压强对 AZO 薄膜电学性能的影响 | 第39-40页 |
| ·压强对 AZO 薄膜光学性能的影响 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 电极陷光结构研究 | 第42-52页 |
| ·陷光结构的构建及制备方法 | 第42-46页 |
| ·陷光结构的表征测试 | 第46-49页 |
| ·具有陷光结构太阳能电池的性能分析 | 第49-52页 |
| 第五章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
