| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 前言 | 第12-16页 |
| 第二章 文献综述 | 第16-40页 |
| ·ZnO基本性质 | 第16-20页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第16-17页 |
| ·ZnO的物理性质 | 第17页 |
| ·ZnO的能带结构 | 第17-20页 |
| ·ZnO性能 | 第20-24页 |
| ·光学性能 | 第20-23页 |
| ·电学性能 | 第23-24页 |
| ·ZnO本征缺陷及非故意掺杂H | 第24-26页 |
| ·ZnO中的施主掺杂 | 第26-27页 |
| ·ZnO中的受主掺杂 | 第27-36页 |
| ·ZnO本征p型 | 第28页 |
| ·V族元素 | 第28-32页 |
| ·I族元素 | 第32-35页 |
| ·共掺技术 | 第35-36页 |
| ·立题依据及研究内容 | 第36-40页 |
| 第三章 实验原理、生长工艺及表征方法 | 第40-50页 |
| ·PLD工艺 | 第40-46页 |
| ·PLD工作原理 | 第40-42页 |
| ·PLD的技术特点 | 第42-43页 |
| ·PLD实验设备 | 第43-45页 |
| ·生长工艺 | 第45-46页 |
| ·ZnO纳米阵列的制备 | 第46-48页 |
| ·衬底清洗 | 第48页 |
| ·性能表征 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 脉冲激光沉积法制备Na δ-掺杂ZnO薄膜 | 第50-78页 |
| ·NaF陶瓷靶材作为有效Na源的生长条件 | 第50-55页 |
| ·Na δ-掺杂Zn0薄膜元素分布 | 第55-58页 |
| ·单层Naδ层结构 | 第55-57页 |
| ·多层Naδ层结构 | 第57-58页 |
| ·单层Naδ层掺杂ZnO薄膜的电学性能 | 第58-59页 |
| ·多层Naδ层掺杂ZnO薄膜的电学性能 | 第59-66页 |
| ·ZnO层厚度对Naδ-掺杂ZnO薄膜电学性能的影响 | 第60-61页 |
| ·Na δ层厚度对δ-掺杂ZnO薄膜电学性能的影响 | 第61-63页 |
| ·衬底温度对Naδ-掺杂ZnO薄膜电学性能的影响 | 第63-65页 |
| ·氧气压强对Naδ-掺杂ZnO薄膜电学性能的影响 | 第65-66页 |
| ·Na δ-掺杂ZnO薄膜的结构分析 | 第66-70页 |
| ·衬底温度对薄膜结构的影响 | 第67-68页 |
| ·氧气压强对薄膜结构的影响 | 第68-70页 |
| ·Naδ-掺杂ZnO薄膜的形貌 | 第70-72页 |
| ·衬底温度对薄膜形貌的影响 | 第70-71页 |
| ·氧气压强对薄膜形貌的影响 | 第71-72页 |
| ·薄膜的表面AFM测试 | 第72页 |
| ·Naδ-掺杂ZnO器件的制备 | 第72-75页 |
| ·本章小结 | 第75-78页 |
| 第五章 Na热扩散掺杂ZnO | 第78-98页 |
| ·热扩散的物理过程 | 第78-80页 |
| ·Na热扩散掺杂ZnO制备工艺 | 第80页 |
| ·Na热扩散掺杂ZnO薄膜 | 第80-92页 |
| ·Na热扩散掺杂ZnO薄膜的SIMS表征 | 第81-82页 |
| ·Na热扩散掺杂ZnO薄膜的XRD表征 | 第82-84页 |
| ·Na热扩散掺杂ZnO薄膜的电学性能 | 第84页 |
| ·Na热扩散掺杂ZnO薄膜的光学性能 | 第84-87页 |
| ·Na热扩散掺杂ZnO薄膜的XPS表征 | 第87-90页 |
| ·Na热扩散制备ZnO基p-n同质结 | 第90-92页 |
| ·Na热扩散掺杂ZnO单晶 | 第92-95页 |
| ·本章小结 | 第95-98页 |
| 第六章 Na离子注入ZnO研究 | 第98-136页 |
| ·离子注入原理 | 第98-103页 |
| ·离子注入的物理过程 | 第99-101页 |
| ·注入离子在靶材中的分布 | 第101-103页 |
| ·离子注入辐射损伤及恢复 | 第103页 |
| ·Na离子浸没式等离子体注入实验 | 第103-105页 |
| ·离子注入ZnO | 第105-110页 |
| ·离子注入ZnO的实验参数 | 第105-106页 |
| ·离子注入ZnO的TRIM模拟 | 第106-110页 |
| ·Na离子注入ZnO单晶 | 第110-123页 |
| ·SIMS表征 | 第110-112页 |
| ·XRD表征 | 第112页 |
| ·光学性能表征 | 第112-123页 |
| ·Na离子注入ZnO纳米阵列 | 第123-127页 |
| ·ZnO纳米阵列的制备 | 第123页 |
| ·Na离子注入ZnO纳米阵列XPS表征 | 第123-124页 |
| ·Na离子注入ZnO纳米阵列变温PL表征 | 第124-127页 |
| ·Ne离子注入ZnO纳米阵列 | 第127-134页 |
| ·Ne离子注入ZnO纳米阵列SEM形貌表征 | 第128页 |
| ·本征ZnO纳米阵列低温PL表征 | 第128页 |
| ·Ne离子注入ZnO纳米阵列变温PL表征 | 第128-134页 |
| ·本章小结 | 第134-136页 |
| 第七章 结论 | 第136-138页 |
| 参考文献 | 第138-152页 |
| 致谢 | 第152-154页 |
| 个人简历 | 第154-156页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果 | 第156页 |
