| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-15页 |
| ·微驱动技术的发展现状 | 第11-13页 |
| ·微位移检测技术发展现状 | 第13-15页 |
| ·课题来源 | 第15页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 硅基微位移检测纳米定位平台设计 | 第17-30页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·硅基微位移检测纳米定位平台整体设计 | 第17-18页 |
| ·柔性铰链的形式选定 | 第18-20页 |
| ·平行板式柔性铰链静力学建模与应力仿真分析 | 第20-27页 |
| ·平行板式柔性铰链静力学模型建立 | 第20-24页 |
| ·平行板式柔性铰链应力和模态仿真分析 | 第24页 |
| ·平行板式柔性铰链设计指导准则研究与建立 | 第24-27页 |
| ·工作台台体设计 | 第27-29页 |
| ·工作台外形尺寸及压电陶瓷装配驱动型式确定 | 第27-28页 |
| ·传感器与工作台的连接方案 | 第28页 |
| ·传感器与平台连接机构设计 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 压阻式微位移传感器的设计 | 第30-47页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·压阻传感器工作原理及其设计原则 | 第30-33页 |
| ·硅的压阻效应 | 第30-31页 |
| ·压阻系数 | 第31页 |
| ·工作原理 | 第31-32页 |
| ·压阻式传感器设计基本原则 | 第32-33页 |
| ·传感器硅梁结构的设计 | 第33-37页 |
| ·传感器结构的选择与确定 | 第33页 |
| ·传感器数学模型的建立和尺寸初步确定 | 第33-36页 |
| ·传感器的有限元仿真分析 | 第36-37页 |
| ·压阻条设计 | 第37-41页 |
| ·压阻宽度设计 | 第37页 |
| ·压阻长度设计 | 第37-38页 |
| ·压阻布局设计 | 第38-41页 |
| ·传感器加工与封装 | 第41-44页 |
| ·压阻版图设计 | 第41-42页 |
| ·传感器加工工艺及制备流程 | 第42-43页 |
| ·传感器封装 | 第43-44页 |
| ·传感器处理电路设计 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 控制系统的设计 | 第47-60页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·压电陶瓷驱动模块和传感器与计算机通讯模块的建立 | 第47-49页 |
| ·压电陶瓷驱动模块的建立 | 第47-48页 |
| ·传感器与计算机通讯模块的建立 | 第48-49页 |
| ·系统传递函数的推导 | 第49-50页 |
| ·经典PID控制算法的研究 | 第50-55页 |
| ·PID控制算法和控制流程 | 第50-53页 |
| ·PID控制算法的MATLAB仿真及参数确定 | 第53-55页 |
| ·单神经元自适应PID控制算法的研究 | 第55-59页 |
| ·单神经元自适应PID控制器及其学习算法 | 第56-57页 |
| ·单神经元自适应PID控制算法的MATLAB仿真及参数确定 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 实验研究 | 第60-69页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·实验系统的建立 | 第60-62页 |
| ·精密定位平台系统性能测试 | 第62-66页 |
| ·精密定位平台系统固有频率测试 | 第62页 |
| ·硅基传感器标定实验 | 第62-63页 |
| ·硅基传感器线性度分析 | 第63-64页 |
| ·硅基传感器重复性测试 | 第64-65页 |
| ·硅基传感器精度测试 | 第65-66页 |
| ·精密定位平台系统分辨率测试 | 第66页 |
| ·精密定位平台系统实验研究 | 第66-68页 |
| ·精密定位平台系统开环迟滞曲线的绘制 | 第66-67页 |
| ·精密定位平台系统闭环性能测试 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 致谢 | 第75页 |