铰链式宽频带高量程微加速度传感器研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-19页 |
| ·MEMS(微电子机械系统)简介 | 第7-8页 |
| ·MEMS加速度传感器的工作原理 | 第8-9页 |
| ·MEMS加速度传感器的优点 | 第9-11页 |
| ·MEMS加速度传感器在国内外的发展 | 第11-17页 |
| ·本论文主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 铰链式高量程加速度传感器的结构和工作原理 | 第19-41页 |
| ·引言 | 第19-20页 |
| ·传感器的结构 | 第20页 |
| ·传感器的工作原理 | 第20-25页 |
| ·横向灵敏度的补偿 | 第25-27页 |
| ·阻尼控制 | 第27-28页 |
| ·芯片结构的优化 | 第28-40页 |
| ·考虑锚区的影响 | 第40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 铰链式高量程加速度传感器的制作工艺 | 第41-53页 |
| ·传感器基本工艺参数和工艺流程的确定 | 第41-43页 |
| ·传感器芯片的版图设计 | 第43-45页 |
| ·高量程加速度传感器芯片的制作工艺 | 第45-49页 |
| ·高量程加速度传感器芯片的整个制作工艺流程图 | 第49-50页 |
| ·工艺中的监控和测量 | 第50-51页 |
| ·流片中需要注意的问题 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 加速度传感器封装结构的模态和静态分析 | 第53-64页 |
| ·有限元模拟 | 第53-55页 |
| ·封装前铰链式加速度传感器芯片的振型分析 | 第55-57页 |
| ·封装结构的模态分析 | 第57-63页 |
| ·静态分析 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结 | 第64-65页 |
| 附录一 ANSYS分析程序 | 第65-67页 |
| 附录二 器件的改进模型计算 | 第67-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 硕士期间发表的论文及工作 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
