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电子封装用高导热颗粒增强金属基复合材料制备与研究

摘要第14-17页
Abstract第17-19页
第一章 绪论第20-42页
    1.1 课题研究背景第20页
    1.2 电子封装材料第20-24页
        1.2.1 电子封装概述第21-22页
        1.2.2 电子封装材料及其研究进展第22-24页
    1.3 颗粒增强金属基复合材料研究进展第24-27页
        1.3.1 颗粒增强金属基复合材料种类第24-25页
        1.3.2 颗粒增强金属基复合材料制备工艺第25-27页
    1.4 颗粒增强金属基复合材料界面及界面改性第27-30页
        1.4.1 颗粒增强金属基复合材料界面问题第27-28页
        1.4.2 颗粒增强金属基复合材料界面改性方法第28-30页
    1.5 颗粒增强金属基复合材料性能第30-35页
        1.5.1 颗粒增强金属基复合材料气密性第30-31页
        1.5.2 颗粒增强金属基复合材料导热性能第31-33页
        1.5.3 颗粒增强金属基复合材料热膨胀性能第33-35页
        1.5.4 颗粒增强金属基复合材料力学性能第35页
    1.6 颗粒增强金属基复合材料未来展望第35-40页
        1.6.1 颗粒增强金属基复合材料体系展望第35-37页
        1.6.2 颗粒增强金属基复合材料制备工艺展望第37-38页
        1.6.3 颗粒增强金属基复合材料界面改性方法展望第38-39页
        1.6.4 颗粒增强金属基复合材料导热模型发展展望第39-40页
    1.7 论文选题依据和研究内容第40-42页
第二章 实验过程及方法第42-51页
    2.1 实验原料与设备第42-43页
        2.1.1 实验原料第42页
        2.1.2 实验设备第42-43页
    2.2 材料制备工艺第43-45页
        2.2.1 增强体颗粒表面磁控溅射法制备Mo涂层第43-44页
        2.2.2 SiC颗粒表面溶胶-凝胶法制备Mo涂层第44页
        2.2.3 Ag粉的制备与包覆第44-45页
        2.2.4 颗粒增强金属基复合材料包覆粉末热压法制备工艺第45页
    2.3 性能分析测试第45-48页
        2.3.1 密度和致密度测试第45-46页
        2.3.2 气密性测试第46页
        2.3.3 导热系数测试第46-47页
        2.3.4 热膨胀系数测试第47页
        2.3.5 弯曲强度测试第47-48页
        2.3.6 润湿性测试第48页
    2.4 组织结构与成分分析第48-51页
        2.4.1 X射线衍射(XRD)分析第48页
        2.4.2 热重-差热(DSC-TG)分析第48-49页
        2.4.3 X射线光学电子能谱(XPS)第49页
        2.4.4 扫描电镜(SEM)和能谱(EDS)分析第49页
        2.4.5 透射电镜(TEM)分析第49页
        2.4.6 电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-AES)第49-51页
第三章 颗粒表面改性Mo涂层的制备与分析第51-84页
    3.1 引言第51-52页
    3.2 SiC颗粒表面Mo涂层的磁控溅射法制备第52-64页
        3.2.1 不同磁控溅射工艺下SiC颗粒表面Mo涂层形貌与成分第52-55页
        3.2.2 热处理对SiC颗粒表面Mo涂层形貌与成分的影响第55-64页
    3.3 SiC颗粒表面Mo涂层的溶胶-凝胶法制备第64-72页
        3.3.1 过氧钼酸溶胶-凝胶体系的制备第64-67页
        3.3.2 SiC颗粒表面溶胶-凝胶MoO3涂层形貌与成分分析第67-69页
        3.3.3 两步还原后SiC颗粒表面Mo涂层形貌与成分第69-72页
    3.4 Diamond颗粒表面Mo涂层的磁控溅射法制备第72-78页
        3.4.1 Diamond颗粒表面Mo涂层形貌和成分第72-74页
        3.4.2 热处理对Diamond颗粒表面Mo涂层形貌与成分的影响第74-78页
    3.5 SiC-Cu、Diamond-Cu、SiC-Ag、Diamond-Ag润湿性研究第78-82页
        3.5.1 镀Mo改性对SiC与Cu之间润湿性的影响第78-79页
        3.5.2 镀Mo改性对Diamond与Cu之间润湿性的影响第79-80页
        3.5.3 镀Mo改性对SiC与Ag之间润湿性的影响第80-81页
        3.5.4 镀Mo改性对Diamond与Ag之间润湿性的影响第81-82页
    3.6 本章小结第82-84页
第四章 颗粒增强Cu基复合材料的制备工艺与性能研究第84-132页
    4.1 颗粒增强金属基复合材料热压烧结工艺研究第84-91页
        4.1.1 颗粒增强金属基复合材料热压烧结致密化机理分析第84-87页
        4.1.2 Cu基复合材料热压烧结致密化工艺研究第87-91页
    4.2 热压烧结SiC_p/Cu基合材料微观组织与界面结构第91-102页
        4.2.1 不同混粉工艺下SiC_p/Cu复合材料微观组织第91-92页
        4.2.2 不同热压烧结温度下SiC_p/Cu复合材料微观组织第92-94页
        4.2.3 不同热压烧结时间下SiC_p/Cu复合材料微观组织第94-95页
        4.2.4 不同压制压力下SiC_p/Cu复合材料微观组织第95-96页
        4.2.5 不同涂层工艺下SiC_p/Cu复合材料微观组织第96-98页
        4.2.6 不同体积分数下SiC_p/Cu复合材料微观组织第98-99页
        4.2.7 热压烧结SiC_p/Cu复合材料界面结构第99-102页
    4.3 热压烧结SiC_p/Cu复合材料性能第102-120页
        4.3.1 颗粒增强SiC_p/Cu复合材料导热性能第102-107页
        4.3.2 颗粒增强SiC_p/Cu复合材料热膨胀性能第107-112页
        4.3.3 颗粒增强SiC_p/Cu复合材料力学性能第112-120页
    4.4 热压烧结Dimondp/Cu复合材料组织与性能第120-129页
        4.4.1 热压烧结Diamondp/Cu复合材料微观组织与界面结构第120-122页
        4.4.2 热压烧结Diamondp/Cu复合材料性能第122-129页
    4.5 本章小结第129-132页
第五章 颗粒增强Ag基复合材料的制备工艺与性能研究第132-157页
    5.1 颗粒增强Ag基复合材料热压烧结工艺研究第132-139页
        5.1.1 Ag粉及Ag包覆SiC、Diamond复合粉体的制备与分析第132-136页
        5.1.2 颗粒增强Ag基复合材料热压烧结致密化工艺研究第136-139页
    5.2 热压烧结Ag基复合材料微观组织与界面结构第139-143页
        5.2.1 SiC_p/Ag复合材料微观组织与界面结构第139-141页
        5.2.2 Diamondp/Ag复合材料微观组织与界面结构第141-143页
    5.3 热压烧结Ag基复合材料性能第143-155页
        5.3.1 颗粒增强Ag基复合材料气密性第143-144页
        5.3.2 颗粒增强Ag基复合材料导热性能第144-148页
        5.3.3 颗粒增强Ag基复合材料热膨胀性能第148-151页
        5.3.4 颗粒增强Ag基复合材料力学性能第151-155页
    5.4 本章小结第155-157页
第六章 复合材料导热模型的建立与验证第157-172页
    6.1 导热模型的建立第157-167页
        6.1.1 一维“复合热导率线”模型的建立第157-161页
        6.1.2 二维“复合热导率层板”模型的建立第161-163页
        6.1.3 三维“复合热导率立方体”模型的建立第163-167页
    6.2 导热模型的实验验证第167-170页
        6.2.1 SiC_p/Cu基复合材料热导率估算与实验验证第167-168页
        6.2.2 SiC_p/Ag复合材料热导率估算与实验验证第168-169页
        6.2.3 导热模型发展建议第169-170页
    6.3 本章小结第170-172页
第七章 结论与展望第172-176页
致谢第176-178页
参考文献第178-187页
作者在学期间取得的学术成果第187页

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