| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 引言 | 第7-8页 |
| 1.2 本课题的研究意义 | 第8-10页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第10页 |
| 1.4 本文的组织结构与安排 | 第10-13页 |
| 第二章 基于随机缺陷的短路关键面积介绍 | 第13-21页 |
| 2.1 缺陷分析 | 第13-15页 |
| 2.1.1 冗余物缺陷 | 第13-14页 |
| 2.1.2 丢失物缺陷 | 第14-15页 |
| 2.1.3 氧化物针孔缺陷和结泄漏缺陷 | 第15页 |
| 2.2 短路关键面积含义 | 第15-19页 |
| 2.2.1 数学形态学的基本运算 | 第15-16页 |
| 2.2.2 几种常用的数学形态学运算 | 第16-17页 |
| 2.2.3 数学形态学短路关键面积的模型 | 第17-19页 |
| 2.3 本章小结 | 第19-21页 |
| 第三章 基于图论的 IC 缺陷分割技术分析 | 第21-31页 |
| 3.1 图像分割技术 | 第21-23页 |
| 3.1.1 图像分割技术基础 | 第21-22页 |
| 3.1.2 图像分割技术分类 | 第22-23页 |
| 3.2 图论的基本理论 | 第23-25页 |
| 3.2.1 图的定义 | 第23-24页 |
| 3.2.2 带权图及其储存 | 第24-25页 |
| 3.3 真实缺陷的特征提取 | 第25-29页 |
| 3.3.1 缺陷特征提取 | 第25-27页 |
| 3.3.2 缺陷的粒径分布和空间分布 | 第27-29页 |
| 3.4 本章小结 | 第29-31页 |
| 第四章 基于图像森林变换的 IC 缺陷分割 | 第31-51页 |
| 4.1 图像森林变换理论 | 第31-36页 |
| 4.1.1 图像森林变换的基本思想 | 第31-32页 |
| 4.1.2 基本概念 | 第32-34页 |
| 4.1.3 最短路径树的形成过程 | 第34-36页 |
| 4.2 阈值限定的图像森林变换 | 第36-42页 |
| 4.2.1 IFT 中阈值的选取算法 | 第36-37页 |
| 4.2.2 IFT 的改进模型 | 第37-38页 |
| 4.2.3 阈值限定 IFT 在 IC 真实缺陷分割中的应用 | 第38-40页 |
| 4.2.4 实验结果分析及比较 | 第40-42页 |
| 4.3 基于形态学边缘处理的自动种子点选取 IFT | 第42-50页 |
| 4.3.1 自动种子点选取的产生背景 | 第42-43页 |
| 4.3.2 图像的预处理 | 第43-44页 |
| 4.3.3 基于形态学边缘处理的种子点生成 | 第44-47页 |
| 4.3.4 实验结果分析及比较 | 第47-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 COE 网中基于随机缺陷的关键面积优化范围选择 | 第51-59页 |
| 5.1 COE 网 | 第51-53页 |
| 5.1.1 COE 网的概念 | 第51-52页 |
| 5.1.2 COE 网的特性 | 第52-53页 |
| 5.2 路径在短路关键面积优化范围选择上的应用 | 第53-58页 |
| 5.2.1 关键路径基本概念介绍 | 第53-55页 |
| 5.2.2 最短路径基本概念介绍 | 第55-56页 |
| 5.2.3 路径在短路关键面积优化范围选择上的应用 | 第56-58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 研究生期间研究成果 | 第67-68页 |
