| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 MEMS研究现状和发展趋势 | 第11-13页 |
| 1.3 稳健设计研究现状与发展趋势 | 第13-15页 |
| 1.4 课题来源和主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 MEMS器件的优化设计及存在问题 | 第17-29页 |
| 2.1 优化算法 | 第17-21页 |
| 2.1.1 传统优化算法 | 第17-18页 |
| 2.1.2 现代优化算法 | 第18-21页 |
| 2.2 MEMS设计存在问题 | 第21-28页 |
| 2.2.1 优化方法存在问题 | 第21-22页 |
| 2.2.2 尺度效应 | 第22-24页 |
| 2.2.3 粘附效应 | 第24-26页 |
| 2.2.4 摩擦磨损问题 | 第26-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 MEMS器件的稳健设计研究 | 第29-40页 |
| 3.1 稳健设计的基础理论 | 第29-30页 |
| 3.1.1 稳健设计的基本概念 | 第29-30页 |
| 3.1.2 稳健设计的一般步骤 | 第30页 |
| 3.2 稳健设计方法 | 第30-37页 |
| 3.2.1 基于容差模型的稳健设计方法 | 第31-32页 |
| 3.2.2 基于模糊模型的稳健设计方法 | 第32-34页 |
| 3.2.3 基于随机模型的稳健设计方法 | 第34-37页 |
| 3.4 基于稳健设计方法的MEMS问题研究 | 第37-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 双岛型微压力传感器弹性元件的稳健设计 | 第40-45页 |
| 4.1 双岛型微传感器弹性元件模型分析 | 第40-41页 |
| 4.2 基于随机模型的微传感器弹性元件的稳健设计示例 | 第41-44页 |
| 4.2.1 建立稳健设计模型 | 第41-43页 |
| 4.2.2 结果与分析 | 第43-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 MEMS梁的稳健设计 | 第45-51页 |
| 5.1 MEMS梁模型分析 | 第45页 |
| 5.2 基于随机模型的MEMS梁的稳健设计示例 | 第45-50页 |
| 5.2.1 建立稳健设计模型 | 第45-48页 |
| 5.2.2 结果与分析 | 第48-50页 |
| 5.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 谐振式微压力传感器的稳健设计 | 第51-64页 |
| 6.1 谐振式微压力传感器理论分析 | 第51-56页 |
| 6.1.1 微传感器工作原理 | 第51-52页 |
| 6.1.2 微传感器模型分析 | 第52-55页 |
| 6.1.3 热激励受迫共振 | 第55-56页 |
| 6.2 谐振式微压力传感器稳健设计示例 | 第56-63页 |
| 6.2.1 问题分析 | 第56-57页 |
| 6.2.2 建立稳健设计随机模型 | 第57-60页 |
| 6.2.3 结果与分析 | 第60-63页 |
| 6.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第七章 结论与展望 | 第64-65页 |
| 7.1 结论 | 第64页 |
| 7.2 研究展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 在校期间的研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |