电热式双S结构MEMS微镜的热学特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第10-17页 |
| 1.2.1 MEMS微镜概述 | 第10-11页 |
| 1.2.2 MEMS微镜的分类 | 第11-15页 |
| 1.2.3 传热模型的研究 | 第15-17页 |
| 1.3 本文主要内容 | 第17-18页 |
| 第2章 电热式双S结构MEMS微镜 | 第18-28页 |
| 2.1 电热式bimorph的驱动原理 | 第18-21页 |
| 2.2 电热式双S结构MEMS微镜的整体设计 | 第21-24页 |
| 2.3 电热式双S结构MEMS微镜的加工与制备 | 第24-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 电热式FDS微镜热学特性的实验研究 | 第28-38页 |
| 3.1 研究背景 | 第28页 |
| 3.2 实验装置及步骤 | 第28-33页 |
| 3.2.1 标定电阻温度系数 | 第29-30页 |
| 3.2.2 光学测试系统 | 第30-31页 |
| 3.2.3 真空测试系统 | 第31-33页 |
| 3.3 实验结果及讨论 | 第33-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 电热式FDS微镜传热模型的研究 | 第38-49页 |
| 4.1 电-热-机转换 | 第38页 |
| 4.2 电热式双S结构微镜的热等效电路模型 | 第38-44页 |
| 4.2.1 热特性分析 | 第38-39页 |
| 4.2.2 一维热传导方程的离散化处理 | 第39-41页 |
| 4.2.3 建立热等效电路模型 | 第41-43页 |
| 4.2.4 仿真结果及讨论 | 第43-44页 |
| 4.3 电热式双S结构微镜的热有限元模型 | 第44-48页 |
| 4.3.1 边界条件 | 第44-45页 |
| 4.3.2 3D有限元模型 | 第45-47页 |
| 4.3.3 仿真结果 | 第47-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 附录 | 第56-58页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
