跨尺度粘滑定位台及其控制系统的设计
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-19页 |
| 1.2.1 跨尺度驱动定位技术国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.2 基于粘滑驱动原理的纳米定位台研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 研究内容及目标 | 第19-22页 |
| 第二章 粘滑驱动定位台结构设计 | 第22-31页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 致动器的选择 | 第22-23页 |
| 2.3 定位台结构设计 | 第23-24页 |
| 2.4 柔性铰链的计算与分析 | 第24-29页 |
| 2.4.1 柔性铰链刚度的理论分析 | 第24-26页 |
| 2.4.2 垂直耦合位移的计算 | 第26-27页 |
| 2.4.3 柔性铰链有限元分析 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 粘滑驱动定位台动力学建模仿真 | 第31-47页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 摩擦模型选择 | 第31-34页 |
| 3.3 定位台系统建模 | 第34-38页 |
| 3.3.1 压电陶瓷致动器模型 | 第34-36页 |
| 3.3.2 压电陶瓷致动器-柔性铰链驱传动模型 | 第36-37页 |
| 3.3.3 一体化动力学建模 | 第37-38页 |
| 3.4 定位台仿真分析 | 第38-45页 |
| 3.5 结构参数优化 | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 定位台驱动及闭环控制系统设计 | 第47-57页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 压电陶瓷高动态驱动电源设计 | 第47-49页 |
| 4.2.1 集成运放的选择 | 第47页 |
| 4.2.2 电路设计 | 第47-48页 |
| 4.2.3 电源测试 | 第48-49页 |
| 4.3 驱动信号的仿真分析 | 第49-51页 |
| 4.4 闭环控制系统的设计 | 第51-55页 |
| 4.5 控制程序的设计 | 第55-56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 粘滑驱动定位台实验研究 | 第57-67页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 实验系统的搭建 | 第57页 |
| 5.3 开环性能试验 | 第57-62页 |
| 5.3.1 分辨率测试 | 第57-58页 |
| 5.3.2 位移测试 | 第58-59页 |
| 5.3.3 步进位移重复性测试 | 第59页 |
| 5.3.4 最小步长 | 第59-60页 |
| 5.3.5 最大运动速度 | 第60-61页 |
| 5.3.6 负载能力及调节摩擦效果 | 第61-62页 |
| 5.4 闭环性能试验 | 第62-65页 |
| 5.4.1 小行程低速度运动的测试 | 第63-64页 |
| 5.4.2 大行程高速运动的测试 | 第64-65页 |
| 5.5 定位台性能指标 | 第65-66页 |
| 5.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-70页 |
| 6.1 总结 | 第67-68页 |
| 6.2 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-77页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
