基于介电型EAP的柔性位移传感特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| 1.1 柔性传感器的研究背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.1.1 柔性传感器的研究背景 | 第14-15页 |
| 1.1.2 介电型EAP柔性传感特性的研究意义 | 第15页 |
| 1.2 柔性传感器研究现状 | 第15-21页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第16-19页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第19-21页 |
| 1.3 本文主要工作内容 | 第21-22页 |
| 第二章 介电型EAP传感单元设计、分析及制作 | 第22-35页 |
| 2.1 电容式传感器的工作原理 | 第22-23页 |
| 2.1.1 变极距式电容位移传感器 | 第22页 |
| 2.1.2 变面积式电容位移传感器 | 第22-23页 |
| 2.2 EAP传感单元的工作原理 | 第23-24页 |
| 2.3 传感单元结构设计 | 第24-25页 |
| 2.4 传感单元分析 | 第25-30页 |
| 2.4.1 XOY平面内位移测量分析 | 第25-29页 |
| 2.4.2 Z方向位移测量分析 | 第29-30页 |
| 2.5 传感单元安装误差分析 | 第30-31页 |
| 2.5.1 内框沿Z轴平移 | 第30页 |
| 2.5.2 内框绕X和Y轴旋转 | 第30-31页 |
| 2.5.3 内框绕Z轴旋转 | 第31页 |
| 2.6 传感单元参数确定 | 第31-33页 |
| 2.7 传感单元的制作 | 第33-34页 |
| 2.8 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 传感单元的静态测试及标定 | 第35-53页 |
| 3.1 介电型EAP的相对介电常数 | 第35-37页 |
| 3.2 一维静态测试及标定 | 第37-44页 |
| 3.2.1 传感单元的静态测试平台 | 第37-38页 |
| 3.2.2 测试方案 | 第38-39页 |
| 3.2.3 主要静态指标及计算 | 第39-40页 |
| 3.2.4 数据处理与分析 | 第40-44页 |
| 3.3 二维静态测试及标定 | 第44-46页 |
| 3.4 安装误差影响实验 | 第46-51页 |
| 3.4.1 内框沿Z轴平移 | 第47-48页 |
| 3.4.2 内框绕X轴旋转 | 第48-49页 |
| 3.4.3 内框绕Z轴旋转 | 第49-51页 |
| 3.5 敏感单元误差分析 | 第51-52页 |
| 3.5.1 制作误差及薄膜起皱失效 | 第51页 |
| 3.5.2 假设带来的误差 | 第51-52页 |
| 3.5.3 边缘效应分析 | 第52页 |
| 3.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 传感单元的应用 | 第53-64页 |
| 4.1 Z方向线位移传感器 | 第53-56页 |
| 4.1.1 线位移传感器设计 | 第53页 |
| 4.1.2 线位移传感器测量原理 | 第53-54页 |
| 4.1.3 线位移传感器安装误差分析 | 第54-55页 |
| 4.1.4 Z方向位移测量实验 | 第55-56页 |
| 4.2 二自由度角位移传感器 | 第56-60页 |
| 4.2.1 二自由度角位移传感器实现 | 第56-57页 |
| 4.2.2 测量原理 | 第57-58页 |
| 4.2.3 角位移测量实验 | 第58-59页 |
| 4.2.4 误差计算 | 第59-60页 |
| 4.3 四自由度位移传感器 | 第60-63页 |
| 4.3.1 四自由度位移传感器实现 | 第60页 |
| 4.3.2 测量原理 | 第60-62页 |
| 4.3.3 导杆位姿测量实验及末端精度分析 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 总结 | 第64-65页 |
| 5.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第72页 |
