转接板生产线关键设备综合效率的研究
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第10-12页 |
| 1.1.1 课题的研究背景 | 第10-11页 |
| 1.1.2 课题研究的意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究状况 | 第12-14页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 1.4 论文框架结构 | 第15-16页 |
| 第二章 N公司转接板生产线概况 | 第16-29页 |
| 2.1 N公司转接板生产流程与设备 | 第16-24页 |
| 2.1.1 转接板生产工艺流程 | 第16-18页 |
| 2.1.2 转接板生产设备概况 | 第18-24页 |
| 2.2 N公司生产管理状况分析 | 第24-26页 |
| 2.2.1 转接板生产设备管理状况 | 第24-25页 |
| 2.2.2 N公司的质量管理状况 | 第25-26页 |
| 2.3 存在问题及改进设想 | 第26-27页 |
| 2.3.1 存在问题 | 第26-27页 |
| 2.3.2 改进设想 | 第27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 N公司转接板生产线设备综合效率分析研究 | 第29-45页 |
| 3.1 OEE分析与改善流程 | 第29-31页 |
| 3.2 N公司转接板生产线OEE相关数据收集 | 第31-32页 |
| 3.2.1 定义数据的获取对象 | 第31页 |
| 3.2.2 转接板B产品的标准工艺时间 | 第31-32页 |
| 3.2.3 转接板生产线OEE数据的表格设计 | 第32页 |
| 3.3 转接板生产线设备综合效率的计算 | 第32-40页 |
| 3.3.1 光刻机设备综合效率计算 | 第33-34页 |
| 3.3.2 刻蚀机设备综合效率计算 | 第34-35页 |
| 3.3.3 化学气相沉积台设备综合效率计算 | 第35-37页 |
| 3.3.4 物理气相沉积台设备综合效率计算 | 第37-38页 |
| 3.3.5 电镀机设备综合效率计算 | 第38-40页 |
| 3.4 转接板生产设备改善对象的确定 | 第40-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 深反应离子刻蚀机OEE的提升研究 | 第45-71页 |
| 4.1 深反应离子刻蚀机OEE的影响因子分析 | 第45-51页 |
| 4.1.1 刻蚀机设备时间开动率的分析 | 第46-49页 |
| 4.1.2 刻蚀机设备性能开动率的分析 | 第49-50页 |
| 4.1.3 刻蚀机设备产品合格率的分析 | 第50-51页 |
| 4.2. 深反应离子刻蚀机设备综合效率的改善提升 | 第51-69页 |
| 4.2.1. 深反应离子刻蚀机时间开动率的提升 | 第51-63页 |
| 4.2.2. 深反应离子刻蚀机性能开动率的提升 | 第63-69页 |
| 4.3. 改善效果 | 第69-70页 |
| 4.4. 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 5.1. 总结 | 第71-72页 |
| 5.2. 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 附录 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第78页 |
