| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 基于微波功率传感器的检测系统的研究背景和意义 | 第11页 |
| 1.2 微电子机械系统 | 第11-12页 |
| 1.3 射频微电子机械系统 | 第12页 |
| 1.4 微波功率传感器 | 第12-14页 |
| 1.5 微波功率检测 | 第14-20页 |
| 1.6 本论文的主要工作 | 第20-21页 |
| 1.7 本章小节 | 第21-23页 |
| 第二章 MEMS微波功率传感器的理论基础 | 第23-30页 |
| 2.1 共面波导(CPW)的特性分析 | 第23-24页 |
| 2.2 塞贝克效应 | 第24-27页 |
| 2.3 传热学的基本原理 | 第27-28页 |
| 2.4 基于热电效应的微波功率传感器的结构图 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小节 | 第29-30页 |
| 第三章 微波功率传感器的灵敏度和信噪比的分析与优化 | 第30-37页 |
| 3.1 MEMS微波功率传感器的傅立叶热方程模型 | 第30-31页 |
| 3.2 微波功率传感器的分析、模拟和测试 | 第31-36页 |
| 3.2.1 微波功率传感器的信噪比和热噪声的研究 | 第31-33页 |
| 3.2.2 不同热电偶数目的MEMS热电式微波功率传感器的分析和测试 | 第33-36页 |
| 3.3 本章小节 | 第36-37页 |
| 第四章 基于微波功率传感器的微波功率检测系统的模拟、设计和测试 | 第37-59页 |
| 4.1 放大滤波电路的设计、制作和应用 | 第37-40页 |
| 4.2 模数转换和仪表显示 | 第40-45页 |
| 4.3 基于微波功率传感器的微波功率检测系统的结构及其验证 | 第45-46页 |
| 4.3.1 基于微波功率传感器的微波功率检测系统的结构 | 第45-46页 |
| 4.3.2 基于微波功率传感器的微波功率检测系统的验证 | 第46页 |
| 4.4 基于微波功率传感器的微波功率检测系统对灵敏度和放大系统的研究 | 第46-55页 |
| 4.5 基于微波功率传感器的检测系统的可重复性验证 | 第55-56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-59页 |
| 第五章 总结和展望 | 第59-61页 |
| 5.1 工作总结 | 第59-60页 |
| 5.2 工作展望 | 第60-61页 |
| 5.2.1 微波功率接收的无线化 | 第60页 |
| 5.2.2 微波功率检测系统的便携式 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
