| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| ·气体传感器结构的发展 | 第9-17页 |
| ·金属氧化物平板气体传感器制造工艺的现状 | 第17-21页 |
| ·金属氧化物平板气体传感器阵列的制作工艺 | 第21-23页 |
| 2 丝网印刷工艺研究 | 第23-32页 |
| ·丝网印刷效果对传感器性能的影响 | 第23-24页 |
| ·实验方案 | 第24页 |
| ·结果与分析 | 第24-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 3 金属氧化物气体传感器电极结构优化 | 第32-48页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·实验方案 | 第33-35页 |
| ·结果与分析 | 第35-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 4 微滴注掺杂工艺制作4 阵列传感器及其对白酒选择性的评价 | 第48-59页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·微滴注掺杂工艺 | 第48-50页 |
| ·结果与分析 | 第50-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 5 结论与展望 | 第59-61页 |
| ·结论 | 第59-60页 |
| ·展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表论文 | 第67页 |