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ZnO:ZnS薄膜及其异质结紫外光电特性的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
第一章 ZnO概述第10-21页
   ·引言第10页
   ·ZnO基本性质第10-11页
   ·ZnO能带结构第11-13页
   ·ZnO形态第13-18页
     ·ZnO薄膜第14-15页
     ·ZnO单晶第15-16页
     ·ZnO纳米第16-18页
   ·ZnO的缺陷第18-19页
   ·ZnO紫外光电应用第19-20页
   ·本文的主要工作第20-21页
第二章 ZnO薄膜的制备及表征第21-30页
   ·ZnO薄膜制备方法第21-26页
     ·金属有机化学气相沉积(MOCVD)第21-22页
     ·分子束外延(MBE)第22-23页
     ·脉冲激光沉积(PLD)第23-24页
     ·磁控溅射法(Magnetran Sputtering)第24-26页
   ·ZnO薄膜的表征第26-30页
     ·X射线衍射谱(XRD)第27-28页
     ·扫描电镜(SEM)第28页
     ·X射线能谱(EDS)第28-29页
     ·紫外吸收和透射光谱(UV-Vis spectrum)第29-30页
第三章 ZnO掺S薄膜第一性原理的计算第30-46页
   ·第一性原理的计算方法第30-33页
     ·计算软件的原理第30-31页
     ·密度泛函理论(DFT)第31-32页
     ·形成能和杂质浓度的计算第32-33页
   ·计算结果及分析第33-45页
     ·模型的建立第33-36页
     ·S掺杂ZnO的研究第36-38页
     ·掺杂体系的电子结构分析第38-40页
     ·掺杂体系的导电性能分析第40-43页
     ·ZnO_xS_(1-x)体系的计算第43-45页
   ·本章小结第45-46页
第四章 ZnO:ZnS薄膜的制备和相关性能测试第46-64页
   ·实验设备及实验过程第46-48页
     ·磁控溅射设备第46页
     ·靶材及基片第46-47页
     ·实验参数第47-48页
   ·实验结果与讨论第48-60页
     ·XRD测试分析第48-49页
     ·EDS测试分析第49-50页
     ·SEM测试分析第50-51页
     ·紫外可见光谱分析第51-53页
     ·Ⅰ-Ⅴ曲线分析第53-55页
     ·光电导弛豫及其测试模型分析第55-58页
     ·紫外光电响应分析第58-60页
   ·退火对薄膜紫外光电性能影响第60-63页
   ·本章小结第63-64页
第五章 ZnO/ZnS异质结制备第64-72页
   ·异质结模型分析第64-66页
   ·ZnO/ZnS异质结制作参数第66-67页
   ·异质结表征第67-71页
     ·异质结的Ⅰ-Ⅴ曲线第67-68页
     ·异质结的吸收谱和透射过谱第68-69页
     ·紫外光电响应分析第69-71页
   ·本章小结第71-72页
第六章 结论与展望第72-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-79页
攻硕期间取得的研究成果第79页

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