真实空间转移(RST)器件的研制
摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-7页 |
第一章 绪论 | 第7-16页 |
·课题研究背景 | 第7-8页 |
·负阻器件简介 | 第8页 |
·负阻器件分类 | 第8-10页 |
·RST器件简介及其发展 | 第10-13页 |
·RST器件研究现状 | 第13-14页 |
·本论文的内容 | 第14-16页 |
第二章 RST器件的原理和应用 | 第16-23页 |
·RST器件的原理和结构 | 第16-22页 |
·双沟道RST器件 | 第18-20页 |
·RST器件逻辑单元 | 第20-22页 |
·RST器件的应用前景 | 第22-23页 |
第三章 RST器件的电路模拟 | 第23-30页 |
·器件电路模拟发展及意义 | 第23-24页 |
·模拟软件HSPICE概述 | 第24-26页 |
·RST器件的电路模拟 | 第26-30页 |
第四章 RST器件的制作及测试分析 | 第30-51页 |
·RST器件的材料结构及生长 | 第30-35页 |
·RST器件的材料结构 | 第30-32页 |
·分子束外延生长 | 第32-35页 |
·RST器件的版图设计 | 第35-37页 |
·单一双沟道RST器件 | 第35-36页 |
·基于RST的逻辑器件 | 第36-37页 |
·RST器件的制作流程 | 第37-43页 |
·半导体关键工艺简介 | 第37-39页 |
·RST器件的制作 | 第39-43页 |
·工艺中遇到的问题 | 第43-45页 |
·RST器件的直流测试与分析 | 第45-46页 |
·进一步的研究 | 第46-51页 |
·RST器件串联电路单元 | 第47-48页 |
·三沟道RST器件 | 第48-49页 |
·发光RST器件 | 第49-51页 |
第五章 结束语 | 第51-52页 |
参考文献 | 第52-56页 |
发表论文和参加科研情况说明 | 第56-57页 |
附录 | 第57-64页 |
致谢 | 第64页 |