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真实空间转移(RST)器件的研制

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-16页
   ·课题研究背景第7-8页
   ·负阻器件简介第8页
   ·负阻器件分类第8-10页
   ·RST器件简介及其发展第10-13页
   ·RST器件研究现状第13-14页
   ·本论文的内容第14-16页
第二章 RST器件的原理和应用第16-23页
   ·RST器件的原理和结构第16-22页
     ·双沟道RST器件第18-20页
     ·RST器件逻辑单元第20-22页
   ·RST器件的应用前景第22-23页
第三章 RST器件的电路模拟第23-30页
   ·器件电路模拟发展及意义第23-24页
   ·模拟软件HSPICE概述第24-26页
   ·RST器件的电路模拟第26-30页
第四章 RST器件的制作及测试分析第30-51页
   ·RST器件的材料结构及生长第30-35页
     ·RST器件的材料结构第30-32页
     ·分子束外延生长第32-35页
   ·RST器件的版图设计第35-37页
     ·单一双沟道RST器件第35-36页
     ·基于RST的逻辑器件第36-37页
   ·RST器件的制作流程第37-43页
     ·半导体关键工艺简介第37-39页
     ·RST器件的制作第39-43页
   ·工艺中遇到的问题第43-45页
   ·RST器件的直流测试与分析第45-46页
   ·进一步的研究第46-51页
     ·RST器件串联电路单元第47-48页
     ·三沟道RST器件第48-49页
     ·发光RST器件第49-51页
第五章 结束语第51-52页
参考文献第52-56页
发表论文和参加科研情况说明第56-57页
附录第57-64页
致谢第64页

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