| 第一章 ZnO材料的特性、应用及生长方法 | 第1-20页 |
| ·ZnO材料研究进展 | 第5-6页 |
| ·ZnO材料的基本性质 | 第6-8页 |
| ·ZnO薄膜材料的应用 | 第8-11页 |
| ·ZnO薄膜材料的生长方法 | 第11-16页 |
| 本章参考文献 | 第16-20页 |
| 第二章 高质量ZnO薄膜生长用MOCVD设备的设计 | 第20-31页 |
| ·MOCVD技术简介 | 第20-21页 |
| ·MOCVD生长ZnO薄膜源材料的选择 | 第21-22页 |
| ·生长ZnO薄膜的等离子体增强MOCVD系统的设计 | 第22-30页 |
| 本章参考文献 | 第30-31页 |
| 第三章 ZnO薄膜的MOCVD生长研究 | 第31-53页 |
| ·薄膜生长衬底的选择 | 第31-32页 |
| ·ZnO薄膜在蓝宝石衬底上的生长 | 第32-39页 |
| ·O2气流量对ZnO薄膜性质的影响 | 第39-46页 |
| ·Zn源流量对ZnO薄膜性质的影响 | 第46-50页 |
| 本章参考文献 | 第50-53页 |
| 结论 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56-62页 |