半导体工业洁净室新风系统节能方法研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第16-25页 |
| 1.1 课题背景 | 第16-19页 |
| 1.1.1 半导体工业发展 | 第16-17页 |
| 1.1.2 节能减排意义 | 第17-18页 |
| 1.1.3 集成电路对新风的要求 | 第18-19页 |
| 1.2 新风系统节能发展 | 第19-22页 |
| 1.2.1 换气次数 | 第19-20页 |
| 1.2.2 设备发热 | 第20-21页 |
| 1.2.3 空气输送系统的阻力 | 第21页 |
| 1.2.4 空调机箱的效率 | 第21-22页 |
| 1.3 新风节能方法研究存在的问题 | 第22-23页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 新风处理及节能方法 | 第25-50页 |
| 2.1 新风机组设备介绍 | 第25-31页 |
| 2.1.1 新风机组 | 第25-26页 |
| 2.1.2 新风处理过程 | 第26-31页 |
| 2.1.3 新风处理能量消耗 | 第31页 |
| 2.2 送风机节电方法 | 第31-36页 |
| 2.2.1 新风量的确定及消耗 | 第31-33页 |
| 2.2.2 送风机与变频器 | 第33-34页 |
| 2.2.3 实际运行及分析 | 第34-36页 |
| 2.3 各级过滤器参数研究 | 第36-41页 |
| 2.3.1 微粒捕捉机理及阻力损失模型 | 第37-38页 |
| 2.3.2 过滤器的更换 | 第38-39页 |
| 2.3.3 过滤器最佳更换时间研究 | 第39-41页 |
| 2.3.4 过滤器更换最佳参数 | 第41页 |
| 2.4 新风温湿度调节 | 第41-48页 |
| 2.4.1 湿空气性质及焓湿图 | 第41-45页 |
| 2.4.2 露点温度设定调节 | 第45-46页 |
| 2.4.3 实测结果与分析 | 第46-48页 |
| 2.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第三章 新风系统改造及节能方法研究 | 第50-75页 |
| 3.1 新风制备过程中水的应用 | 第50页 |
| 3.2 冷冻机冷却水热回收 | 第50-61页 |
| 3.2.1 冷冻机系统 | 第50-52页 |
| 3.2.2 新风系统原预热系统 | 第52-53页 |
| 3.2.3 新风预热改造设计 | 第53-55页 |
| 3.2.4 可行性分析 | 第55-59页 |
| 3.2.5 实测结果与分析 | 第59-61页 |
| 3.3 水蓄冷节能改造 | 第61-65页 |
| 3.3.1 峰谷电的利用 | 第61页 |
| 3.3.2 水蓄冷设计方案 | 第61-62页 |
| 3.3.3 可行性分析 | 第62-64页 |
| 3.3.4 实测结果与分析 | 第64-65页 |
| 3.4 冷凝水回收 | 第65-68页 |
| 3.4.1 冷凝水回收方案 | 第65-66页 |
| 3.4.2 可行性分析 | 第66-67页 |
| 3.4.3 实测结果与分析 | 第67-68页 |
| 3.5 水喷室节能改造 | 第68-73页 |
| 3.5.1 水喷室 | 第68-70页 |
| 3.5.2 影响喷水室热交换效果因素 | 第70-71页 |
| 3.5.3 水喷淋改造 | 第71页 |
| 3.5.4 数据与分析 | 第71-73页 |
| 3.6 本章小结 | 第73-75页 |
| 第四章 结束语 | 第75-77页 |
| 4.1 主要工作与创新点 | 第75-76页 |
| 4.2 后续研究工作 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 附录1饱和蒸汽压力-焓表 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第83-85页 |
