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一维宽禁带半导体气相沉积及气敏性研究

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
第一章 绪论第12-46页
    1.1 宽带隙半导体材料概述第12-13页
    1.2 宽禁带半导体材料研究进展第13-18页
        1.2.1 无机宽禁带半导体材料研究进展第13-15页
        1.2.2 有机半导体材料的研究进展第15-18页
    1.3 一维宽禁带半导体材料的研究进展第18-22页
        1.3.1 一维SiC纳米材料的研究进展第19-20页
        1.3.2 一维GaN纳米材料的研究进展第20页
        1.3.3 一维ZnO纳米材料的研究进展第20-22页
    1.4 一维宽禁带半导体材料的气敏性研究第22-34页
        1.4.1 半导体气敏传感器概述及其研究进展第23-27页
        1.4.2 影响半导体气敏传感器稳定性的因素第27-33页
        1.4.3 半导体气体传感器的应用领域第33-34页
    1.5 选题意义及研究内容第34-36页
    参考文献第36-46页
第二章 实验材料与表征手段第46-56页
    2.1 实验部分第46页
        2.1.1 实验材料第46页
    2.2 材料结构的表征手段及测试设备第46-48页
        2.2.1 X-射线衍射(XRD)物相分析第46-47页
        2.2.2 场发射扫描电子显微镜分析(FESEM)第47页
        2.2.3 光电子能谱(XPS)分析第47页
        2.2.4 透射电子显微镜分析(TEM)第47-48页
        2.2.5 比表面及孔隙度分析仪第48页
        2.2.6 热重分析(Thermo gravimetric analysis,TGA)第48页
        2.2.7 紫外-可见吸收光谱(UV-vis absorption spectrometry)第48页
    2.3 单根气敏器件的制备第48-51页
        2.3.1 双向电泳组装纳米线(电场组装)方法第49-50页
        2.3.2 电子束光刻技术(EBL)第50页
        2.3.3 离子束光刻(IBL)第50页
        2.3.4 光学光刻技术第50页
        2.3.5 静电贴合技术第50-51页
        2.3.6 光掩模技术第51页
    2.4 气敏元件性能测试第51-55页
        2.4.1 气敏器件的制备第51-53页
        2.4.2 气敏性能测试原理第53页
        2.4.3 气敏元件的测试方法第53-55页
    参考文献第55-56页
第三章 双螺旋PTCDA微纤维的气相法制备及气敏性研究第56-76页
    3.1 引言第56-58页
    3.2 实验部分第58页
        3.2.1 实验准备第58页
        3.2.2 PVD方法制备双螺旋微纤维第58页
    3.3 结果与讨论第58-63页
        3.3.1 PTCDA的TG图谱曲线第58-59页
        3.3.2 PTCDA螺旋结构的形成第59-61页
        3.3.3 PTCDA双螺旋纤维的TEM图第61页
        3.3.4 样品的XRD分析第61-62页
        3.3.5 样品的UV-vis分析第62-63页
    3.4 PTCDA螺旋微纤维的形成机理探索第63-66页
        3.4.1 PTCDA螺旋微纤维的形成过程第63-64页
        3.4.2 PTCDA螺旋微纤维结构的形成机理第64-66页
    3.5 PTCDA微米纤维的气敏性能研究第66-71页
    3.6 本章小结第71-72页
    参考文献第72-76页
第四章 镉掺杂氧化锌纳米线的制备及其气敏性研究第76-100页
    4.1 引言第76-77页
    4.2 实验部分第77-78页
        4.2.1 镉掺杂氧化锌纳米线的合成第77-78页
    4.3 结果与讨论第78-89页
        4.3.1 纯氧化锌和镉掺杂氧化锌纳米线的结构与形貌分析第78-84页
        4.3.2 温度对于合成的氧化锌及镉掺杂氧化锌纳米线形貌的影响第84-86页
        4.3.3 纳米线的生长机制第86-88页
        4.3.4 掺杂纳米线的输运性能研究第88-89页
    4.4 镉掺杂氧化锌纳米线气敏特性研究第89-92页
    4.5 镉掺杂氧化锌纳米线对硫化氢气体的感应机理研究第92-95页
    4.6 本章小结第95-96页
    参考文献第96-100页
第五章 总结与展望第100-102页
致谢第102-104页
攻读学位期间发表的学术论文目录第104页

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