| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 芯片实验室简介 | 第10-11页 |
| 1.2 微流控技术简介 | 第11-15页 |
| 1.2.1 连续微流控 | 第11-12页 |
| 1.2.2 液滴微流控 | 第12-13页 |
| 1.2.3 数字微流控 | 第13-15页 |
| 1.3 介质上电润湿数字微流控的历史与发展现状 | 第15-20页 |
| 1.3.1 介质上电润湿技术的历史 | 第15-16页 |
| 1.3.2 介质上电润湿数字微流控在化学领域的应用 | 第16-17页 |
| 1.3.3 介质上电润湿数字微流控在生物医疗领域的应用 | 第17-18页 |
| 1.3.4 介质上电润湿数字微流控与其它检测模块集成 | 第18-20页 |
| 1.4 薄膜体声波谐振器 | 第20-23页 |
| 1.4.1 薄膜体声波谐振器的传感应用 | 第20-21页 |
| 1.4.2 薄膜体声波谐振器的驱动应用 | 第21-23页 |
| 1.5 本课题的意义及研究内容 | 第23-26页 |
| 1.5.1 本课题研究的意义 | 第23页 |
| 1.5.2 本课题的主要研究内容 | 第23-26页 |
| 第2章 集成芯片的原理与实现 | 第26-36页 |
| 2.1 介质上电润湿数字微流控的原理与实现 | 第26-30页 |
| 2.1.1 基本原理 | 第26-28页 |
| 2.1.2 驱动原理 | 第28-30页 |
| 2.2 薄膜体声波谐振器的原理与实现 | 第30-36页 |
| 2.2.1 固态装配型薄膜体声波谐振器 | 第30-31页 |
| 2.2.2 等效模型 | 第31-32页 |
| 2.2.3 传感机理 | 第32-33页 |
| 2.2.4 驱动机理 | 第33-36页 |
| 第3章 集成芯片的设计制造与控制电路的设计 | 第36-48页 |
| 3.1 匹配设计 | 第36-39页 |
| 3.2 版图设计 | 第39-40页 |
| 3.2.1 开放式集成芯片的版图设计 | 第39-40页 |
| 3.2.2 封闭式集成芯片的版图设计 | 第40页 |
| 3.3 制造流程 | 第40-43页 |
| 3.3.1 底极板制造流程 | 第40-43页 |
| 3.3.2 封闭式集成芯片顶极板的制造 | 第43页 |
| 3.4 关键加工技术 | 第43-46页 |
| 3.4.1 介质层与压电层的制备 | 第43-44页 |
| 3.4.2 疏水层图形化与介质层AlN的保护 | 第44-46页 |
| 3.5 控制电路设计 | 第46-48页 |
| 第4章 开放式集成芯片在多通道检测方面的应用 | 第48-64页 |
| 4.1 系统平台的搭建 | 第48-49页 |
| 4.2 器件性能展示 | 第49-51页 |
| 4.3 传感性能提升的方法 | 第51-53页 |
| 4.4 试剂与材料 | 第53页 |
| 4.5 多通道修饰 | 第53-56页 |
| 4.6 多重检测的实现与分析 | 第56-58页 |
| 4.6.1 吸附动力学模型 | 第56页 |
| 4.6.2 目标蛋白吸附实验流程 | 第56-57页 |
| 4.6.3 实验结果分析 | 第57-58页 |
| 4.7 血清中目标分子的检测方案 | 第58-61页 |
| 4.8 酶联免疫吸附实验（ELISA Test） | 第61-64页 |
| 第5章 封闭式集成芯片上细胞培养与分析 | 第64-74页 |
| 5.1 系统方案设计 | 第64-65页 |
| 5.2 封闭式数字微流控芯片 | 第65-69页 |
| 5.2.1 介质层被击穿 | 第65-66页 |
| 5.2.2 电压泄露 | 第66-67页 |
| 5.2.3 基底低阻抗 | 第67页 |
| 5.2.4 封闭式数字微流控引脚连接方案 | 第67-68页 |
| 5.2.5 操纵细胞培养液 | 第68-69页 |
| 5.3 SMR的性能测试 | 第69-70页 |
| 5.4 细胞培养 | 第70-72页 |
| 5.4.1 虚拟孔及其实现方法 | 第70页 |
| 5.4.2 细胞培养流程 | 第70-72页 |
| 5.5 细胞药物释放展望 | 第72-74页 |
| 第6章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 论文主要研究内容与成果 | 第74页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第74-75页 |
| 6.3 有待解决的问题 | 第75页 |
| 6.4 后期研究工作展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-84页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
