多晶硅CVD反应器中新型热管传热性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 文献综述 | 第10-24页 |
| 1.1 课题背景 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 硅烷法简介 | 第11-13页 |
| 1.2.1 硅烷法工艺 | 第11-12页 |
| 1.2.2 硅烷法的优缺点 | 第12-13页 |
| 1.3 CVD反应器概述 | 第13-16页 |
| 1.3.1 流化床反应器 | 第14页 |
| 1.3.2 西门子反应器 | 第14-16页 |
| 1.4 热管技术 | 第16-22页 |
| 1.4.1 热管工作原理 | 第16-17页 |
| 1.4.2 热管的分类及特性 | 第17-18页 |
| 1.4.3 热管的应用及研究概况 | 第18-22页 |
| 1.5 本课题的研究内容及方法 | 第22-24页 |
| 第二章 新型CVD反应器中重力热管设计 | 第24-38页 |
| 2.1 工作介质及管材的选择 | 第24-26页 |
| 2.1.1 工作介质的选择 | 第24-25页 |
| 2.1.2 管壳材料的选择 | 第25-26页 |
| 2.2 热管尺寸选择 | 第26-29页 |
| 2.2.1 热管工作限制 | 第26-28页 |
| 2.2.2 热管直径 | 第28-29页 |
| 2.3 特殊结构设计 | 第29-31页 |
| 2.4 热管强度的有限元分析 | 第31-37页 |
| 2.4.1 模型建立 | 第31-32页 |
| 2.4.2 网格划分 | 第32-34页 |
| 2.4.3 施加载荷并求解 | 第34-35页 |
| 2.4.4 应力线性化分析 | 第35-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 单根热管冷凝段传热特性研究 | 第38-50页 |
| 3.1 重力热管理论概述 | 第38-41页 |
| 3.1.1 蒸发段机理分析 | 第38-39页 |
| 3.1.2 冷凝段机理分析 | 第39-40页 |
| 3.1.3 热阻模型 | 第40-41页 |
| 3.2 重力热管凝结换热数值计算 | 第41-48页 |
| 3.2.1 模型理论推导 | 第41-44页 |
| 3.2.2 模型求解方法 | 第44-45页 |
| 3.2.3 计算结果分析 | 第45-48页 |
| 3.2.4 汞热管凝结换热计算 | 第48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 新型CVD反应器冷却段数值模拟 | 第50-66页 |
| 4.1 模型建立 | 第50-52页 |
| 4.2 模型网格划分 | 第52-53页 |
| 4.3 Fluent求解器设置 | 第53-57页 |
| 4.3.1 湍流模型及壁面函数选择 | 第53-55页 |
| 4.3.2 水的物性参数设置 | 第55-56页 |
| 4.3.3 边界条件设置 | 第56-57页 |
| 4.4 模拟结果与讨论 | 第57-65页 |
| 4.4.1 冷却段流场特性 | 第57-58页 |
| 4.4.2 冷却段温度场特性 | 第58-59页 |
| 4.4.3 两种热管长度比的对比 | 第59-61页 |
| 4.4.4 两种入口方位的对比 | 第61-63页 |
| 4.4.5 不同入口速度对比分析 | 第63-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 结论及展望 | 第66-68页 |
| 5.1 结论 | 第66-67页 |
| 5.2 展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72-76页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
