| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-30页 |
| ·氧化锌薄膜概述 | 第10-13页 |
| ·ZnO的基本结构 | 第10-11页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第11-13页 |
| ·AZO薄膜的概述 | 第13-18页 |
| ·AZO薄膜的性能 | 第13-14页 |
| ·AZO薄膜的导电机理 | 第14-16页 |
| ·AZO薄膜的应用及研究现状 | 第16-18页 |
| ·AZO薄膜的制备方法 | 第18-25页 |
| ·磁控溅射法 | 第18-19页 |
| ·分子束外延法 | 第19-20页 |
| ·喷雾热解法 | 第20页 |
| ·化学气相沉积法 | 第20-21页 |
| ·连续离子层吸附反应法 | 第21-22页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第22-24页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第24-25页 |
| ·溶胶凝胶法制备AZO薄膜性能的主要影响因素 | 第25-26页 |
| ·掺杂浓度 | 第25页 |
| ·溶胶浓度 | 第25页 |
| ·镀膜层数 | 第25-26页 |
| ·退火温度 | 第26页 |
| ·脉冲激光沉积法制备AZO薄膜性能的主要影响因素 | 第26-27页 |
| ·衬底温度 | 第26-27页 |
| ·环境气氛及气压 | 第27页 |
| ·激光束的能量和频率 | 第27页 |
| ·衬底材料的选择 | 第27页 |
| ·本论文的研究意义及研究内容 | 第27-30页 |
| ·研究意义 | 第27-28页 |
| ·研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 AZO薄膜的Sol-gel法和PLD法制备及表征方法 | 第30-40页 |
| ·Sol-gel法制备AZO薄膜的实验试剂、仪器及制备工艺 | 第30-32页 |
| ·Sol-gel法制备AZO薄膜的实验试剂及仪器 | 第30页 |
| ·Sol-gel法制备AZO薄膜的制备工艺 | 第30-32页 |
| ·PLD法制备AZO薄膜的实验试剂、实验仪器及制备工艺 | 第32-34页 |
| ·PLD法制备AZO薄膜的实验试剂及仪器 | 第32-33页 |
| ·PLD法制备AZO薄膜的制备工艺 | 第33-34页 |
| ·AZO薄膜的表征 | 第34-40页 |
| ·薄膜厚度 | 第34页 |
| ·四探针法测电阻 | 第34-37页 |
| ·X-射线衍射谱(XRD) | 第37页 |
| ·紫外-可见光分析(UV-vis) | 第37-38页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第38页 |
| ·光致发光(PL) | 第38页 |
| ·电阻(R)-温度(T)曲线研究 | 第38-39页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第39-40页 |
| 第三章 Sol-gel法制备AZO薄膜 | 第40-52页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·实验部分 | 第40-41页 |
| ·AZO薄膜制备工艺参数的选择 | 第40-41页 |
| ·AZO薄膜的制备 | 第41页 |
| ·Sol-gel法制备AZO薄膜制备工艺优化 | 第41-48页 |
| ·空白玻璃衬底的UV吸收光谱 | 第41页 |
| ·镀膜层数 | 第41-44页 |
| ·退火温度 | 第44-46页 |
| ·Al掺杂量 | 第46-48页 |
| ·Sol-gel法最优工艺制备AZO薄膜结构性能表征 | 第48-51页 |
| ·AZO薄膜的物相分析 | 第48-49页 |
| ·AZO薄膜的形貌分析 | 第49-50页 |
| ·AZO薄膜的紫外-可见光谱分析 | 第50页 |
| ·AZO薄膜的表面电阻率 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 PLD法制备AZO薄膜 | 第52-71页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·实验部分 | 第52-54页 |
| ·靶材的准备 | 第52页 |
| ·AZO薄膜的制备 | 第52-54页 |
| ·AZO法制备AZO薄膜制备工艺优化 | 第54-61页 |
| ·衬底温度 | 第54-56页 |
| ·生长氧压 | 第56-57页 |
| ·沉积时间 | 第57-59页 |
| ·Al掺杂量 | 第59-61页 |
| ·PLD法最优工艺制备AZO薄膜结构性能表征 | 第61页 |
| ·AZO薄膜的表面形貌分析 | 第61-66页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜表面形貌的影响 | 第61-64页 |
| ·Al掺杂量对AZO薄膜表面形貌的影响 | 第64-66页 |
| ·AZO薄膜PL光谱分析 | 第66-69页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜光学性能的影响 | 第66-67页 |
| ·生长氧压对AZO薄膜光学性能的影响 | 第67页 |
| ·Al的掺杂量对AZO薄膜光学性能的影响 | 第67-68页 |
| ·沉积时间对AZO薄膜光学性能的影响 | 第68-69页 |
| ·AZO薄膜R-T图谱分析 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 结论 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-81页 |
| 附录A (攻读学位期间主要的研究成果) | 第81-83页 |
