声表面波气体探测器ARM控制电路设计及敏感膜工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状与进展 | 第9-13页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 声表面波气体探测器原理 | 第14-19页 |
| ·声表面波气体传感器的原理 | 第14-15页 |
| ·声表面波气体传感器的结构 | 第15-17页 |
| ·声表面波气体探测器控制电路工作原理 | 第17页 |
| ·有毒气体敏感薄膜的吸附作用机理 | 第17-19页 |
| 第三章 声表面波气体探测器ARM控制电路的设计 | 第19-41页 |
| ·声表面波气体探测器阵列电路的结构 | 第19-20页 |
| ·声表面波气体探测器ARM控制电路的设计 | 第20-36页 |
| ·主控单元的选择 | 第20-24页 |
| ·信号检测电路的设计 | 第24-28页 |
| ·流程控制电路的设计 | 第28-33页 |
| ·信息显示电路设计 | 第33-34页 |
| ·电源电路的设计 | 第34-36页 |
| ·PCB电路板的制作 | 第36页 |
| ·系统流程控制程序的设计 | 第36-38页 |
| ·预富集器装置流程控制模块程序的设计 | 第37-38页 |
| ·温度控制模块程序的设计 | 第38页 |
| ·液晶显示模块程序的设计 | 第38页 |
| ·计数器计数模块程序的设计 | 第38页 |
| ·声表面波气体探测器控制电路设计的总结 | 第38-41页 |
| ·系统控制程序的调试 | 第38-39页 |
| ·SAW气体探测器ARM控制电路存在的问题 | 第39-41页 |
| 第四章 声表面波传感器敏感膜的气喷沉积工艺研究 | 第41-54页 |
| ·实验测试仪器及试剂 | 第42页 |
| ·气喷工艺概述 | 第42-45页 |
| ·气喷装置的类别 | 第42-44页 |
| ·气喷的雾化理论 | 第44-45页 |
| ·敏感膜气喷沉积工艺的准备 | 第45-47页 |
| ·气喷工艺的优化对薄膜形貌的影响 | 第47-49页 |
| ·喷嘴口径对敏感膜形貌的影响 | 第47页 |
| ·溶液浓度对敏感膜形貌的影响 | 第47-48页 |
| ·气喷距离对敏感膜形貌的影响 | 第48-49页 |
| ·气喷工艺的优化对器件性能的影响 | 第49-52页 |
| ·喷嘴口径对器件性能的影响 | 第49-50页 |
| ·溶液浓度对器件性能的影响 | 第50-51页 |
| ·喷涂距离对器件性能的影响 | 第51-52页 |
| ·薄膜厚度的估计 | 第52页 |
| ·气喷工艺对气敏检测结果的影响 | 第52-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 第五章 结论和展望 | 第54-56页 |
| ·结论 | 第54页 |
| ·展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
