| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·光纤法珀压力传感器发展现状 | 第8-11页 |
| ·本课题研究意义及主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 膜片式光纤法珀压力传感器基本原理 | 第13-20页 |
| ·法珀干涉仪基本原理 | 第13-15页 |
| ·膜片式光纤法珀压力传感器 | 第15-16页 |
| ·光纤法珀传感解调技术 | 第16-19页 |
| ·强度解调法 | 第17-18页 |
| ·相位解调法 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 具有表面微结构的硅膜片式光纤法珀压力传感器研究 | 第20-37页 |
| ·硅膜片式光纤法珀压力传感器的光谱信号 | 第20-21页 |
| ·具有表面微结构的硅膜片的压力变形仿真研究 | 第21-33页 |
| ·不同微结构图案对膜片力学变形的影响 | 第22-24页 |
| ·不同微结构图案尺寸参数的对膜片力学变形的影响 | 第24-25页 |
| ·带有偏心量的微结构图案对膜片力学变形影响 | 第25-29页 |
| ·带有偏心量的微结构图案对光学传感信号的影响 | 第29-33页 |
| ·硅膜片的表面微结构激光加工制作 | 第33-34页 |
| ·硅膜片式光纤法珀压力传感器的封装 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 复合法珀腔型光纤法珀压力传感器研究 | 第37-49页 |
| ·复合法珀腔型光纤法珀压力传感器的基本原理 | 第37-40页 |
| ·复合法珀腔型光纤法珀压力传感头制作研究 | 第40-45页 |
| ·复合法珀腔传感头的制作要求与分析 | 第41-42页 |
| ·阳极键合技术 | 第42-44页 |
| ·硅/玻璃/硅的三层阳极键合 | 第44-45页 |
| ·复合法珀腔型光纤法珀压力传感头制作与传感器封装 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 光纤法珀压力传感器传感实验研究 | 第49-55页 |
| ·光纤法珀压力传感光谱解调系统 | 第49-51页 |
| ·膜片式光纤法珀压力传感器压力测量实验研究 | 第51-53页 |
| ·复合法珀腔型光纤法珀压力传感器压力测量实验研究 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·本文主要完成的工作 | 第55-56页 |
| ·对今后工作的展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |