三维精密驱动控制系统的设计研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-19页 |
| ·课题背景 | 第14-15页 |
| ·研究目的 | 第15页 |
| ·研究意义 | 第15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-17页 |
| ·精密驱动技术研究现状 | 第15-16页 |
| ·压电驱动器迟滞控制研究现状 | 第16-17页 |
| ·SPM 研究现状 | 第17页 |
| ·当前存在的问题 | 第17-18页 |
| ·论文研究内容及创新点 | 第18页 |
| ·论文研究内容 | 第18页 |
| ·论文创新点 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 SPM | 第19-28页 |
| ·SPM 发展 | 第19-20页 |
| ·SPM 的工作原理 | 第20-26页 |
| ·STM 的工作原理 | 第20-22页 |
| ·STM 的优越性与局限性 | 第22-23页 |
| ·AFM 的工作原理 | 第23-26页 |
| ·AFM 的优越性与局限性 | 第26页 |
| ·基于 SPM 的纳米加工方法 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 MPF | 第28-37页 |
| ·传统压电驱动器结构分类 | 第28-29页 |
| ·新型压电驱动器—MPF | 第29-32页 |
| ·压电陶瓷纤维 | 第29-31页 |
| ·MPF 的优越性 | 第31-32页 |
| ·MPF 驱动特性测试 | 第32-36页 |
| ·MPF 的封装 | 第32-33页 |
| ·MPF 电压—位移 | 第33-34页 |
| ·建立 MPF 传递函数 | 第34-35页 |
| ·MPF 迟滞特性 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 压电精密位移平台 | 第37-47页 |
| ·压电精密位移平台分类 | 第37-38页 |
| ·柔性铰链机构 | 第38-43页 |
| ·柔性铰链种类 | 第38-39页 |
| ·柔性铰链平行导向机构 | 第39-43页 |
| ·压电精密位移平台驱动性能测试 | 第43-46页 |
| ·平台的选择 | 第43页 |
| ·建立传递函数 | 第43-46页 |
| ·平台迟滞特性测试 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 迟滞建模 | 第47-56页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·经典 Maxwell 模型 | 第47-48页 |
| ·改进型 Maxwell 迟滞模型 | 第48-55页 |
| ·新模型的建立 | 第48-51页 |
| ·模型参数求解 | 第51-53页 |
| ·简化新模型 | 第53-54页 |
| ·模型仿真 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 迟滞补偿控制 | 第56-66页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·MPF | 第56-60页 |
| ·MPF 开环控制 | 第56-57页 |
| ·MPF 单独 PID 控制 | 第57-58页 |
| ·MPF 复合控制 | 第58-60页 |
| ·压电精密位移平台 | 第60-65页 |
| ·平台开环控制 | 第61-62页 |
| ·平台单独 PID 控制 | 第62-63页 |
| ·平台复合控制 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第七章 SPM 系统的组建及实验 | 第66-78页 |
| ·SPM 系统结构 | 第66页 |
| ·驱动系统 | 第66-68页 |
| ·Z 轴驱动 | 第66-67页 |
| ·X、Y 轴驱动 | 第67-68页 |
| ·角度调节 | 第68页 |
| ·检测系统 | 第68-70页 |
| ·探针 | 第68-69页 |
| ·放大电路 | 第69-70页 |
| ·其他附件 | 第70-72页 |
| ·样品台 | 第70页 |
| ·样品 | 第70-71页 |
| ·支架 | 第71页 |
| ·气垫隔振台 | 第71-72页 |
| ·SPM 系统 | 第72页 |
| ·SPM 系统扫描控制实验 | 第72-77页 |
| ·扫描方式 | 第72-74页 |
| ·扫描控制实验 | 第74-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第八章 结论 | 第78-80页 |
| ·全文总结 | 第78-79页 |
| ·研究展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-88页 |
| 致谢 | 第88-90页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第90页 |
