| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 引言 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·电力品质的概念 | 第7-8页 |
| ·半导体工厂电压骤降问题的提出 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·本文的主要研究对象及主要工作 | 第10-11页 |
| 第二章 电压骤降的基本概念及检测方法 | 第11-20页 |
| ·电压骤降定义 | 第11页 |
| ·电压骤降的产生原因 | 第11-12页 |
| ·电压骤降的特征量 | 第12-14页 |
| ·电压骤降特征量的理论计算 | 第14-15页 |
| ·电压骤降检测方法 | 第15-20页 |
| ·电压骤降检测算法 | 第15-17页 |
| ·常用的电力品质监测仪器 | 第17-20页 |
| 第三章 半导体工厂的电压骤降问题及现有治理方案的缺陷 | 第20-34页 |
| ·半导体行业应对电压骤降遵循的准则 | 第20-24页 |
| ·SM公司电压骤降的监测与统计 | 第24-26页 |
| ·电压骤降对半导体敏感设备的影响 | 第26-29页 |
| ·SM半导体厂现有治理方案的缺陷 | 第29-34页 |
| ·SM半导体厂电力系统构架 | 第29-32页 |
| ·分析现有电压骤降治理方案存在的缺陷 | 第32-34页 |
| 第四章 SM半导体厂电压骤降治理方案的确立 | 第34-58页 |
| ·SM半导体厂电压骤降的治理策略分析 | 第34-51页 |
| ·电压骤降治理方案分析 | 第34-39页 |
| ·新型电压骤降治理装置DVR的分析 | 第39-44页 |
| ·DVR装置的改进设计 | 第44-50页 |
| ·改进型动态电压补偿器在厂务系统的应用 | 第50-51页 |
| ·SM半导体厂电压骤降治理效果 | 第51-56页 |
| ·电压骤降发生器验证 | 第51-54页 |
| ·真实电压骤降事件的验证 | 第54-56页 |
| ·半导体工厂应对电压骤降事件的紧急应变流程 | 第56-58页 |
| 第五章 总结和展望 | 第58-59页 |
| ·总结 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |