| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·电迁移研究国内外状况 | 第7-8页 |
| ·论文主要工作 | 第8-9页 |
| ·论文章节安排 | 第9-11页 |
| 第二章 电迁移基本原理及测量方法 | 第11-25页 |
| ·电迁移基本原理 | 第11-15页 |
| ·原子扩散的模型 | 第11-13页 |
| ·互连引线电迁移失效过程的三个重要特性 | 第13-14页 |
| ·互连引线中的电迁移中值失效时间 | 第14页 |
| ·抗电迁移的措施 | 第14-15页 |
| ·应力迁移 | 第15页 |
| ·几种影响电迁移的相关因素 | 第15-19页 |
| ·电流密度与热效应对电迁移的影响 | 第15-16页 |
| ·导线的尺寸和晶粒大小对电迁移的影响 | 第16页 |
| ·导线的转角数目及角度的影响 | 第16-17页 |
| ·线宽对电迁移的影响 | 第17-18页 |
| ·连线爬越的台阶的密度和台阶的覆盖情况对电迁移寿命的影响 | 第18页 |
| ·合金效应对提高电迁移特性有很大改善 | 第18-19页 |
| ·电迁移失效检测的常用方法 | 第19-20页 |
| ·加速寿命试验方法 | 第19页 |
| ·移动速度试验法 | 第19-20页 |
| ·脉冲电流情况 | 第20-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 第三章 电迁移预警电路的设计 | 第25-41页 |
| ·预警电路结构及原理 | 第25-36页 |
| ·集成电路中标志电迁移失效的因素 | 第26-27页 |
| ·电路工作原理 | 第27-29页 |
| ·电迁移失效的统计分布 | 第29-30页 |
| ·对数正态分布的图估计法 | 第30-31页 |
| ·加速寿命实验的必要性 | 第31-32页 |
| ·电阻的确定 | 第32-33页 |
| ·电迁移加速因子 | 第33-34页 |
| ·电路图功能仿真 | 第34-36页 |
| ·失效测试单元 | 第36-40页 |
| ·电路失效单元提取 | 第36-37页 |
| ·失效单元版图 | 第37-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第四章 实验结果分析 | 第41-53页 |
| ·电迁移测试实验 | 第41-45页 |
| ·实验步骤流程 | 第41页 |
| ·实验测试系统概述 | 第41-43页 |
| ·实验测试结构 | 第43-44页 |
| ·所需样品数量估算 | 第44-45页 |
| ·实验数据及结果分析 | 第45-52页 |
| ·试验加速应力 | 第45页 |
| ·温度修正 | 第45-46页 |
| ·数据分析 | 第46-49页 |
| ·样品分布拟合比较 | 第49-51页 |
| ·电迁移失效IP数据库构建理论 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第五章 总结 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 研究成果 | 第59-60页 |