微型零件在线检测系统的研究

第一章 前言	第1-17页
·问题的引入	第13-14页
·国内外研究状况分析	第14-15页
·本课题的研究内容及意义	第15-17页
第二章 显微测量理论及系统总体设计	第17-22页
·小尺寸测量	第17-19页
·本课题显微测量系统的构成	第19-22页
第三章 光学系统的设计	第22-31页
·显微镜成像原理及其特征	第22页
·显微镜的光学特性	第22-26页
·显微物镜	第26-27页
·显微镜的照明系统	第27-29页
·本课题显微系统的设计	第29-31页
第四章 图像的输入及输出设计	第31-39页
·摄像器件	第31-34页
·摄像机	第34-36页
·图像采集卡	第36-37页
·图像输出	第37-38页
·图像存储	第38-39页
第五章 显微图像的处理和检测	第39-67页
·图像处理基础	第39-46页
·模式识别	第46-48页
·Visual Basic图像处理基础	第48-50页
·半导体芯片电路线宽测量	第50-61页
·半导体芯片上定位标志的模式识别	第61-64页
·DVD光学读取头音圈马达驱动下的微小位移测量	第64-65页
·显微测量系统的标定	第65-67页
第六章 实验验证及精度分析	第67-75页
·误差分析概述	第67-69页
·标准件标定时的重复性实验	第69-71页
·芯片电路线宽测量误差分析	第71-73页
·芯片电路线宽测量误差合成	第73-75页
第七章 结束语	第75-77页
·总结	第75页
·后续工作的意见	第75-77页
参考文献	第77-79页