| 第一章 绪论 | 第1-11页 |
| 第一节 GaN材料的发展与应用 | 第6-7页 |
| 第二节 GaN材料的基本特性 | 第7-8页 |
| 第三节 本实验室对GaN材料的研究 | 第8-9页 |
| 第四节 本论文的主要工作 | 第9-11页 |
| 第二章 系统总体设计 | 第11-17页 |
| 第一节 ECR多功能半导体加工装置 | 第11-12页 |
| 第二节 加工工艺简介 | 第12-14页 |
| 第三节 控制系统总体设计 | 第14-17页 |
| 第三章 硬件电路设计 | 第17-31页 |
| 第一节 数字电路部分 | 第17-26页 |
| 第二节 模拟电路部分 | 第26-28页 |
| 第三节 其他电路及硬件抗干扰措施 | 第28-31页 |
| 第四章 监控程序设计 | 第31-51页 |
| 第一节 软件设计思想 | 第31-32页 |
| 第二节 监控程序的结构和主控程序 | 第32-35页 |
| 第三节 任务模块介绍 | 第35-50页 |
| 第四节 软件抗干扰措施 | 第50-51页 |
| 第五章 参数控制对实验的影响与讨论 | 第51-59页 |
| 第六章 结束语 | 第59-60页 |
| 致 谢 | 第60-61页 |
| 参考书目 | 第61-62页 |