基于驻波原理的虚拟探针关键技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 基于振动探测原理的探针技术总结 | 第11-18页 |
| 1.3 课题研究主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 基于驻波原理的虚拟探针探测原理分析 | 第19-32页 |
| 2.1 引言 | 第19-20页 |
| 2.2 基于驻波原理的虚拟探针结构 | 第20-21页 |
| 2.3 虚拟探针的振动模式分析 | 第21-25页 |
| 2.4 悬臂梁的驱动力分析 | 第25-26页 |
| 2.5 虚拟探针的探测原理 | 第26-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 虚拟探针的频率特性分析 | 第32-45页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 石英音叉振荡器特性分析 | 第32-38页 |
| 3.2.1 石英晶体及其等效电路 | 第33页 |
| 3.2.2 石英晶体的传感特性 | 第33-35页 |
| 3.2.3 石英音叉振荡器的测量电路及其仿真 | 第35-38页 |
| 3.3 虚拟探针的频率特性分析 | 第38-44页 |
| 3.3.1 虚拟探针的振型分析与制作过程 | 第38-41页 |
| 3.3.2 虚拟探针结构仿真 | 第41-43页 |
| 3.3.3 碳纤维长度与频率特性的关系 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 虚拟探针控制电路以及数据采集系统 | 第45-55页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 虚拟探针的驱动与检测电路 | 第45-53页 |
| 4.2.1 信号发生电路 | 第45-48页 |
| 4.2.2 锁相放大电路 | 第48-53页 |
| 4.3 数据采集系统 | 第53-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 虚拟探针实验验证 | 第55-71页 |
| 5.1 引言 | 第55-56页 |
| 5.2 虚拟探针的触测特性 | 第56-60页 |
| 5.2.1 探针与工件的接触与分离特性 | 第56-59页 |
| 5.2.2 探针的触测特性分析 | 第59-60页 |
| 5.3 虚拟探针的灵敏度及分辨力测试 | 第60-64页 |
| 5.3.1 灵敏度测试 | 第61-64页 |
| 5.3.2 噪声测试及分辨力计算 | 第64页 |
| 5.4 虚拟探针重复性实验 | 第64-69页 |
| 5.4.1 探针在不同接近速度下的触测特性 | 第64-67页 |
| 5.4.2 探针在不同接近速度下的重复性 | 第67-69页 |
| 5.4.3 复现性测量 | 第69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
