滑阀副叠合量的新型气动测量系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 叠合量测量技术研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 叠合量测量方法研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 叠合量测量系统研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 压力式气动叠合量测量原理分析及系统仿真 | 第17-26页 |
| 2.1 气动叠合量测量原理分析 | 第17-20页 |
| 2.1.1 压力式测量原理 | 第17-18页 |
| 2.1.2 叠合量测量系统机理建模 | 第18-20页 |
| 2.2 测量系统仿真分析 | 第20-25页 |
| 2.2.1 仿真流程 | 第20-21页 |
| 2.2.2 仿真模型建立 | 第21-22页 |
| 2.2.3 系统仿真分析 | 第22-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 压力式气动叠合量测量系统误差分析 | 第26-35页 |
| 3.1 背压测量误差分析 | 第26-27页 |
| 3.2 转换函数误差分析 | 第27-28页 |
| 3.3 叠合量计算误差分析 | 第28-31页 |
| 3.3.1 单边零压力位置误差 | 第28-30页 |
| 3.3.2 叠合量计算误差 | 第30-31页 |
| 3.4 气源压力波动影响仿真分析 | 第31-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 气动叠合量测量系统设计 | 第35-55页 |
| 4.1 系统技术指标及总体方案设计 | 第35-36页 |
| 4.2 气路系统设计 | 第36-37页 |
| 4.3 叠合量测量平台设计 | 第37-44页 |
| 4.3.1 测量夹具功能分析及整体结构设计 | 第37-38页 |
| 4.3.2 阀芯微驱动结构设计 | 第38-41页 |
| 4.3.3 对中调整结构设计 | 第41-42页 |
| 4.3.4 滑台锁紧装置结构设计 | 第42-43页 |
| 4.3.5 位移传感器调整机构设计 | 第43-44页 |
| 4.4 控制系统总体设计 | 第44页 |
| 4.5 控制系统硬件设计 | 第44-49页 |
| 4.5.1 气路执行元件 | 第44-45页 |
| 4.5.2 阀芯驱动系统 | 第45-46页 |
| 4.5.3 信号采集与处理 | 第46-47页 |
| 4.5.4 测量过程控制 | 第47-49页 |
| 4.6 控制系统软件设计 | 第49-54页 |
| 4.6.1 功能需求分析 | 第49页 |
| 4.6.2 控制软件设计 | 第49-53页 |
| 4.6.3 控制程序整体界面 | 第53-54页 |
| 4.7 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 新型叠合量测量系统实验研究 | 第55-62页 |
| 5.1 传感器标定实验 | 第55-57页 |
| 5.2 精度影响实验 | 第57-59页 |
| 5.2.1 单边测量重复性精度实验 | 第57-58页 |
| 5.2.2 系统气源稳压性能实验 | 第58页 |
| 5.2.3 气路优化及实验验证 | 第58-59页 |
| 5.3 测量系统性能实验 | 第59-60页 |
| 5.4 新型气动叠合量测量系统整体 | 第60-61页 |
| 5.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 | 第66-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
