超精密装备恒温气浴关键技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 超精密装备环控技术国内外研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 超精密加工装备环控技术研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.2 超精密测量装备环控技术研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 高精度循环水温度控制技术研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3.1 压缩机制冷式循环水机技术研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3.2 半导体制冷式循环水机技术研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 恒温气浴系统总体方案设计 | 第19-31页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 恒温气浴系统总体方案设计 | 第19-20页 |
| 2.3 恒温气浴系统需求分析 | 第20-27页 |
| 2.3.1 空气折射率稳定影响因素分析 | 第20-23页 |
| 2.3.2 加热单元需求分析 | 第23-25页 |
| 2.3.3 制冷单元需求分析 | 第25-27页 |
| 2.3.4 气浴均匀与流量稳定调节需求分析 | 第27页 |
| 2.4 恒温气浴系统控制策略和算法研究 | 第27-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 高精度空气处理模块研制 | 第31-44页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 空气处理模块方案设计 | 第31-32页 |
| 3.3 风机选型及保温壳体设计 | 第32-35页 |
| 3.3.1 风机选型 | 第32-34页 |
| 3.3.2 空气处理模块保温壳体设计 | 第34-35页 |
| 3.4 基于电加热的气浴加热单元设计 | 第35-37页 |
| 3.4.1 加热单元结构、功率设计 | 第35-36页 |
| 3.4.2 加热单元控制精度设计 | 第36-37页 |
| 3.5 基于翅片式换热结构的气浴制冷单元设计 | 第37-40页 |
| 3.5.1 制冷单元结构、功率设计 | 第37-39页 |
| 3.5.2 制冷单元控制精度设计 | 第39-40页 |
| 3.6 空气均流和风量流量调节单元设计 | 第40-42页 |
| 3.6.1 均流单元设计 | 第40-41页 |
| 3.6.2 风量调节单元设计 | 第41-42页 |
| 3.7 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 基于多层板式结构的气浴均布模块研制 | 第44-53页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 气浴均匀分布方案分析设计 | 第44-46页 |
| 4.3 气浴均匀性仿真分析 | 第46-48页 |
| 4.4 温气浴均匀输出模块结构设计 | 第48-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 实验 | 第53-58页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 实验装置与环境条件 | 第53-54页 |
| 5.3 恒温气浴系统气浴温度稳定性测试实验 | 第54-56页 |
| 5.4 恒温气浴系统最大降温能力实验 | 第56页 |
| 5.5 恒温气浴系统最大升温能力试验 | 第56-57页 |
| 5.6 气浴流速、稳定性、均匀性测试 | 第57页 |
| 5.7 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
