基于FPGA的SEM自动聚焦系统研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景、来源与意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 SEM自动聚焦原理 | 第11-14页 |
| 1.3.1 磁透镜与电子束聚焦 | 第11-12页 |
| 1.3.2 基于图像处理的自动聚焦原理 | 第12-14页 |
| 1.4 论文主要内容及章节安排 | 第14-15页 |
| 第2章 SEM软硬件平台设计与实现 | 第15-31页 |
| 2.1 SEM软硬件平台需求分析 | 第15-16页 |
| 2.2 图像扫描采集传输电路设计 | 第16-18页 |
| 2.2.1 扫描采集传输电路硬件框图 | 第16-17页 |
| 2.2.2 器件选型 | 第17-18页 |
| 2.3 图像扫描采集传输的FPGA实现 | 第18-23页 |
| 2.3.1 FPGA系统架构 | 第18页 |
| 2.3.2 扫描采集模块设计 | 第18-20页 |
| 2.3.3 USB传输模块设计 | 第20-21页 |
| 2.3.4 跨时钟域数据处理 | 第21-23页 |
| 2.4 SEM测试软件设计 | 第23-27页 |
| 2.4.1 测试软件需求分析 | 第24-25页 |
| 2.4.2 测试软件设计与实现 | 第25-27页 |
| 2.5 软硬件测试与验证 | 第27-31页 |
| 第3章 聚焦评价函数研究 | 第31-41页 |
| 3.1 聚焦评价函数介绍 | 第31-34页 |
| 3.2 聚焦评价函数的实验验证与结果分析 | 第34-40页 |
| 3.3 本文使用的复合评价函数 | 第40-41页 |
| 第4章 搜索算法研究 | 第41-51页 |
| 4.1 搜索算法介绍 | 第41-43页 |
| 4.2 搜索算法的实验验证与结果分析 | 第43-46页 |
| 4.3 搜索算法改进 | 第46-51页 |
| 第5章 聚焦算法的FPGA实现 | 第51-61页 |
| 5.1 灰度方差函数的FPGA实现 | 第51-53页 |
| 5.2 二维提升小波变换的FPGA实现 | 第53-57页 |
| 5.3 线性拟合的FPGA实现 | 第57-59页 |
| 5.4 黄金搜索算法的FPGA实现 | 第59-61页 |
| 第6章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 总结 | 第61页 |
| 6.2 展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
