氯硅烷歧化反应的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-28页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-10页 |
| 1.1.1 多晶硅行业发展状况 | 第8-9页 |
| 1.1.2 国内外多晶硅生产状况 | 第9-10页 |
| 1.2 多晶硅生产工艺 | 第10-17页 |
| 1.2.1 三氯氢硅氢还原法-改良西门子法 | 第10-12页 |
| 1.2.2 硅烷法 | 第12-16页 |
| 1.2.3 流化床法 | 第16页 |
| 1.2.4 冶金法 | 第16-17页 |
| 1.3 离子交换树脂的研究概况 | 第17-22页 |
| 1.3.1 离子交换树脂的组成 | 第18页 |
| 1.3.2 离子交换树脂的分类 | 第18-19页 |
| 1.3.3 离子交换树脂的命名 | 第19-21页 |
| 1.3.4 离子交换树脂的性能 | 第21页 |
| 1.3.5 离子交换树脂的应用 | 第21-22页 |
| 1.3.6 离子交换树脂催化剂的优缺点 | 第22页 |
| 1.4 干燥动力学概述 | 第22-27页 |
| 1.4.1 干燥理论概述 | 第22-23页 |
| 1.4.2 干燥速率概述 | 第23-26页 |
| 1.4.3 干燥动力学概述 | 第26-27页 |
| 1.5 本文的研究内容 | 第27-28页 |
| 第二章 课题研究的理论基础 | 第28-35页 |
| 2.1 氯硅烷歧化反应理论基础 | 第28-34页 |
| 2.1.1 氯硅烷歧化反应 | 第28页 |
| 2.1.2 氯硅烷歧化反应催化剂 | 第28-32页 |
| 2.1.3 氯硅烷歧化反应动力学与反应机理 | 第32-34页 |
| 2.2 干燥理论基础 | 第34-35页 |
| 第三章 离子交换树脂的活化研究及干燥特性研究 | 第35-55页 |
| 3.1 前言 | 第35页 |
| 3.2 干燥实验部分 | 第35-38页 |
| 3.2.1 实验设备及试剂 | 第35-36页 |
| 3.2.2 树脂干燥装置 | 第36-37页 |
| 3.2.3 实验过程 | 第37-38页 |
| 3.3 两树脂的干燥特性分析 | 第38-48页 |
| 3.3.1 树脂的初始含水量 | 第38页 |
| 3.3.2 树脂的干燥动力学特性曲线 | 第38-48页 |
| 3.4 树脂催化剂干燥模型的建立 | 第48-52页 |
| 3.5 两树脂的表征与检测 | 第52-53页 |
| 3.5.1 电镜 | 第52页 |
| 3.5.2 两树脂催化剂的表面胺基含量测定 | 第52-53页 |
| 3.6 结论 | 第53-55页 |
| 第四章 三氯氢硅歧化反应动力学模型的建立 | 第55-70页 |
| 4.1 前言 | 第55-56页 |
| 4.2 实验部分 | 第56-58页 |
| 4.2.1 实验药品 | 第56页 |
| 4.2.2 实验仪器 | 第56-57页 |
| 4.2.3 实验过程 | 第57-58页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第58-64页 |
| 4.3.1 催化剂性能比较 | 第58-60页 |
| 4.3.2 催化剂用量对反应的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.3 内外扩散影响的消除 | 第61-63页 |
| 4.3.4 反应温度和反应时间对歧化反应的影响 | 第63-64页 |
| 4.4 动力学研究 | 第64-68页 |
| 4.4.1 三氯氢硅歧化反应动力学模型的建立 | 第64-66页 |
| 4.4.2 三氯氢硅歧化反应动力学模型的计算结果 | 第66-68页 |
| 4.4.3 动力学方程验证 | 第68页 |
| 4.5 结论 | 第68-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
