| 摘要 | 第1-12页 |
| ABSTRACT | 第12-14页 |
| 符号说明 | 第14-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-30页 |
| §1.1 透明导电氧化物(TCO)薄膜概述 | 第16-17页 |
| §1.2 ZnO薄膜的性质及其应用 | 第17-20页 |
| ·结构性质 | 第17-18页 |
| ·电学性质 | 第18页 |
| ·光学性质 | 第18-19页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第19-20页 |
| §1.3 ZnO薄膜的制备方法 | 第20-22页 |
| §1.4 ZnO薄膜的研究现状 | 第22-23页 |
| §1.5 课题的选取和研究的内容 | 第23-26页 |
| 本章参考文献 | 第26-30页 |
| 第二章 实验设备介绍和薄膜制备过程的介绍 | 第30-40页 |
| §2.1 金属有机化学气相淀积法(MOCVD) | 第30-35页 |
| ·MOCVD系统的介绍 | 第30-33页 |
| ·MOCVD的基本原理 | 第33-34页 |
| ·MOCVD的技术特点 | 第34-35页 |
| §2.2 实验前的准备 | 第35-37页 |
| ·衬底的选取 | 第35-36页 |
| ·衬底的清洗 | 第36页 |
| ·原料的选取和实验参数的确定 | 第36-37页 |
| ·工艺流程的程序编辑 | 第37页 |
| §2.3 薄膜的制备过程 | 第37-39页 |
| 本章参考文献 | 第39-40页 |
| 第三章 薄膜性能的测试分析方法 | 第40-50页 |
| §3.1 结构和成分测试分析 | 第40-42页 |
| ·X射线衍射(X-ray Diffraction,XRD) | 第40-41页 |
| ·X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS) | 第41-42页 |
| §3.2 薄膜表面形貌分析 | 第42-44页 |
| ·扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM) | 第42页 |
| ·原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM) | 第42-43页 |
| ·透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM) | 第43-44页 |
| §3.3 电学性质的测量 | 第44-47页 |
| ·电阻率ρ(Ω·cm) | 第44-45页 |
| ·载流子浓度n(cm~(-3))和霍尔迁移率μ(cm~2V~(-1)s~(-1)) | 第45页 |
| ·衬底GaN对薄膜电学测量结果的影响 | 第45-47页 |
| §3.4 光学性质的测量 | 第47-49页 |
| ·透射和吸收 | 第47页 |
| ·光致发光谱(Photoluminescence,PL) | 第47-49页 |
| 本章参考文献 | 第49-50页 |
| 第四章 Epi-GaN/α-Al_2O_3衬底外延ZnO薄膜的研究 | 第50-68页 |
| §4.1 ZnO薄膜样品的制备 | 第50-52页 |
| §4.2 反应压强对epi-GaN/α-Al_2O_3生长ZnO薄膜性质的影响 | 第52-56页 |
| ·反应压强对ZnO薄膜的结构性质的影响 | 第52-54页 |
| ·反应压强对ZnO薄膜的电学性质的影响 | 第54-55页 |
| ·反应压强对ZnO薄膜的光学性质的影响 | 第55-56页 |
| §4.3 衬底温度对epi-GaN/α-Al_2O_3生长ZnO薄膜结构的影响 | 第56-64页 |
| ·ZnO薄膜的结构随衬底温度的变化 | 第57-58页 |
| ·epi-GaN/α-Al_2O_3衬底生长ZnO单晶薄膜外延生长机理分析 | 第58-61页 |
| ·ZnO薄膜的组分分析 | 第61-63页 |
| ·薄膜表面形貌的影响 | 第63-64页 |
| §4.4 衬底温度对epi-GaN/α-Al_2O_3生长ZnO光电性质的影响 | 第64-67页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜的电学性质的影响 | 第64-65页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜的光学性质的影响 | 第65-67页 |
| 本章参考文献 | 第67-68页 |
| 第五章 Epi-GaN/α-Al_2O_3衬底制备ZnO:Ga薄膜的研究 | 第68-84页 |
| §5.1 Ga掺杂ZnO薄膜的制备 | 第68-72页 |
| §5.2 ZnO:Ga薄膜结构性质的研究 | 第72-79页 |
| ·掺杂浓度对薄膜结构性质的影响 | 第72-75页 |
| ·ZnO:Ga薄膜的组分分析 | 第75-77页 |
| ·掺杂浓度对薄膜表面形貌的影响 | 第77-79页 |
| §5.3 ZnO:Ga薄膜电学特性的研究 | 第79-80页 |
| §5.4 ZnO:Ga薄膜光学特性的研究 | 第80-83页 |
| 本章参考文献 | 第83-84页 |
| 第六章 结论 | 第84-86页 |
| 硕士期间发表论文目录 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| Paper 1 | 第89-98页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第98页 |
