| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·半导体生产线简介 | 第11-14页 |
| ·半导体生产线调度方法简介 | 第14-18页 |
| ·半导体生产线的性能指标 | 第18-19页 |
| ·论文结构安排 | 第19-21页 |
| 第二章 半导体生产线调度仿真建模 | 第21-36页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·半导体生产线的生产模型建模概述 | 第21-22页 |
| ·离散事件动态系统仿真方法 | 第22-27页 |
| ·SEMATECH 标准介绍 | 第27-30页 |
| ·一种基于SEMATECH 标准的离散事件仿真方法 | 第30-35页 |
| ·本章小节 | 第35-36页 |
| 第三章半导体生产线批处理机ATC-BATC 调度规则改进 | 第36-49页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·批处理机调度规则介绍 | 第36-41页 |
| ·改进ATC-BATC 规则的描述 | 第41-42页 |
| ·改进ATC-BATC 规则的参数设置 | 第42-43页 |
| ·改进ATC-BATC 规则的仿真研究 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章基于瓶颈机的参数自适应ATC-BATC调度规则 | 第49-62页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·生产线调度的瓶颈思想介绍 | 第49-50页 |
| ·参数自适应ATC-BATC 调度规则描述 | 第50-54页 |
| ·仿真研究 | 第54-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 半导体生产线的仿真软件设计 | 第62-75页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·仿真软件的体系结构 | 第62-66页 |
| ·仿真引擎设计 | 第66-68页 |
| ·程序界面设计 | 第68-72页 |
| ·系统仿真结果分析 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·本文总结 | 第75-76页 |
| ·今后的研究方向 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 附录1：SEMATECH 模型数据结构 | 第81-85页 |
| 附录 2:仿真过程数据表格的数据结构 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第88-90页 |
