| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·课题研究的目的、意义 | 第10-11页 |
| ·国内外微材料力学性能测试方法研究现状 | 第11-16页 |
| ·纳米压痕法测量微材料的硬度、弹性模量、断列强度 | 第11-13页 |
| ·微拉伸法测量弹性模量、泊松比、屈服强度和断裂强度 | 第13-15页 |
| ·微梁弯曲法测量微材料的弹性模量、屈服强度和断裂强度 | 第15-16页 |
| ·各种测试方法总结及本课题测试方法提出 | 第16-17页 |
| ·现有测试方法总结 | 第16页 |
| ·本课题测试方法提出 | 第16-17页 |
| ·论文研究的内容与主要工作 | 第17-20页 |
| ·本文研究的内容 | 第17-18页 |
| ·论文的基本结构 | 第18-20页 |
| 2 测试仪功能模块分析及设计方案论述 | 第20-28页 |
| ·MEMS材料力学功能测试仪各功能模块分析 | 第20-23页 |
| ·精密微定位/加载子系统 | 第21-22页 |
| ·试样加持子系统 | 第22页 |
| ·载荷/位移测量子系统 | 第22页 |
| ·测控子系统 | 第22-23页 |
| ·测控子系统的总体设计方案 | 第23-27页 |
| ·测控系统功能要求 | 第23-24页 |
| ·测控卡模块设计与功能分析 | 第24-25页 |
| ·器件的选取 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 测控系统的硬件设计 | 第28-54页 |
| ·引言 | 第28-29页 |
| ·DSP最小系统设计 | 第29-38页 |
| ·TMS320VC33的电路设计 | 第29-33页 |
| ·系统电源模块设计 | 第33-34页 |
| ·外部存储器系统设计 | 第34-37页 |
| ·晶体振荡器及锁相环电路设计 | 第37页 |
| ·JTAG调试电路设计 | 第37-38页 |
| ·测控系统外围电路设计 | 第38-50页 |
| ·数据采集模块硬件设计 | 第38-44页 |
| ·可编程逻辑模块的设计 | 第44-46页 |
| ·测控卡与上位机接口模块设计 | 第46-50页 |
| ·测控系统直流伺服电机控制器设计 | 第50-53页 |
| ·电机控制系统基本组成 | 第50-51页 |
| ·安装步骤与调试 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 4 测控系统的软件设计 | 第54-66页 |
| ·上位机软件设计 | 第54-55页 |
| ·下位机软件设计 | 第55-65页 |
| ·DSP程序的开发 | 第56-60页 |
| ·FIR低通滤波算法的设计 | 第60-65页 |
| ·测控卡的驱动程序设计 | 第65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 5 实验测控系统 | 第66-82页 |
| ·实验系统总体构成 | 第66页 |
| ·电机定位运动控制实验 | 第66-72页 |
| ·电机实验平台简介 | 第67-68页 |
| ·具体电机控制定位实验 | 第68-72页 |
| ·测试系统小信号采集实验 | 第72-77页 |
| ·电容式数字微位移测量实验 | 第77-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 6 结论与研究展望 | 第82-83页 |
| ·论文结论 | 第82-83页 |
| ·论文展望 | 第83页 |
| 附录 | 第83-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 在学研究成果 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92页 |