| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究的目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第10-16页 |
| 1.3 本文的安排 | 第16-18页 |
| 2 磁悬浮触针测量方法和理论 | 第18-32页 |
| 2.1 机械触针式表面形貌测量技术 | 第18-19页 |
| 2.2 磁悬浮触针式表面形貌测量技术 | 第19-20页 |
| 2.3 磁悬浮触针式表面形貌测量系统的动态理论分析 | 第20-28页 |
| 2.4 磁悬浮触针式表面形貌测量系统接触特性分析 | 第28-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 磁悬浮触针式表面形貌测量系统 | 第32-42页 |
| 3.1 磁悬浮触针式测量系统的整体结构 | 第32-34页 |
| 3.2 磁悬浮触针测头 | 第34-35页 |
| 3.3 位移传感器 | 第35-38页 |
| 3.4 计量传感器 | 第38-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 磁悬浮触针传感器承载性能分析与参数设计 | 第42-56页 |
| 4.1 磁悬浮触针传感器数学模型 | 第42-46页 |
| 4.2 传感器承载性能分析 | 第46-51页 |
| 4.3 磁悬触针传感器参数设计 | 第51-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 5 触针轴位置反馈控制电路设计 | 第56-66页 |
| 5.1 电路组成及工作原理 | 第56-57页 |
| 5.2 功率放大器设计 | 第57-60页 |
| 5.3 控制器设计 | 第60-63页 |
| 5.4 双自由度磁悬浮轴承悬浮实验 | 第63-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 6 系统测试实验及分析 | 第66-75页 |
| 6.1 系统测量精度及标定试验 | 第66-69页 |
| 6.2 系统动态特性实验 | 第69-71页 |
| 6.3 系统测试实例 | 第71-73页 |
| 6.4 本章小结 | 第73-75页 |
| 7 总结与展望 | 第75-77页 |
| 7.1 全文总结 | 第75-76页 |
| 7.2 对未来工作的展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 附录1 攻读学位期间取得的成果 | 第82页 |