| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 引言 | 第11-18页 |
| 1.1 背景 | 第11-15页 |
| 1.2 纳米压印技术的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第15页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 文章选题的依据、目的和意义 | 第16页 |
| 1.4 文章的结构框架 | 第16-18页 |
| 2 纳米压印技术的原理及发展 | 第18-36页 |
| 2.1 纳米压印技术的原理 | 第18-19页 |
| 2.2 传统纳米压印技术的分类 | 第19-24页 |
| 2.2.1 热塑压印 | 第19-21页 |
| 2.2.2 紫外压印 | 第21-23页 |
| 2.2.3 微接触压印 | 第23-24页 |
| 2.2.4 毛细管微模塑压印 | 第24页 |
| 2.3 实现纳米压印技术的新方法 | 第24-31页 |
| 2.3.1 超声波辅助纳米压印 | 第25-26页 |
| 2.3.2 逆向纳米压印 | 第26页 |
| 2.3.3 静电辅助纳米压印技术 | 第26-27页 |
| 2.3.4 滚轴式纳米压印 | 第27-28页 |
| 2.3.5 金属图形直接转移纳米压印 | 第28-31页 |
| 2.4 纳米压印转移介质的选取标准 | 第31-34页 |
| 2.4.1 热塑压印光刻胶 | 第32页 |
| 2.4.2 紫外压印光刻胶 | 第32-33页 |
| 2.4.3 金属薄膜 | 第33页 |
| 2.4.4 金属纳米粒子 | 第33-34页 |
| 2.4.5 假塑性金属纳米粒子流体 | 第34页 |
| 2.5 纳米压印在不同领域内的新应用 | 第34-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 假塑性流体纳米压印中影响填充度的因素研究 | 第36-52页 |
| 3.1 假塑性流体和 Carreau 模型 | 第36-38页 |
| 3.2 模型建立及参数设置 | 第38-39页 |
| 3.3 仿真结果分析及讨论 | 第39-50页 |
| 3.3.1 转移介质粘度对填充度的影响 | 第40-44页 |
| 3.3.2 施压气体压强对填充度的影响 | 第44-46页 |
| 3.3.3 腔穴深宽比 H1/R 对填充度的影响 | 第46-47页 |
| 3.3.4 腔穴高度 H1对填充度的影响 | 第47-49页 |
| 3.3.5 压印速度 V 对填充度的影响 | 第49-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 4 掩模板结构形貌误差对转移图形精度的影响研究 | 第52-63页 |
| 4.1 不同种类的形貌误差成因分析 | 第52-55页 |
| 4.2 仿真结果及讨论 | 第55-61页 |
| 4.2.1 理想腔穴对图形转移精度的影响 | 第55-56页 |
| 4.2.2 腔穴顶端微缩对图形转移精度的影响 | 第56-57页 |
| 4.2.3 腔穴剖面圆弧状对图形转移精度的影响 | 第57-58页 |
| 4.2.4 腔穴顶端不光滑对图形转移精度的影响 | 第58-59页 |
| 4.2.5 腔穴顶端延宽对图形转移精度的影响 | 第59页 |
| 4.2.6 腔穴侧壁不光滑对图形转移精度的影响 | 第59-60页 |
| 4.2.7 掩模板压头缺陷对图形转移精度的影响 | 第60-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 5 假塑性流体纳米压印脱模过程中图形缺陷控制研究 | 第63-81页 |
| 5.1 转移图形微结构受力分析 | 第64-73页 |
| 5.1.1 粘附力 | 第65-66页 |
| 5.1.2 摩擦力 | 第66-67页 |
| 5.1.3 转移介质内部的作用力 | 第67-73页 |
| 5.2 临界状态下各参数数值分析 | 第73-79页 |
| 5.2.1 金属颗粒半径对最大深宽比的影响 | 第74-75页 |
| 5.2.2 h/r 对最大深宽比的影响 | 第75-76页 |
| 5.2.3 接触面摩擦系数对最大深宽比的影响 | 第76-77页 |
| 5.2.4 前驱体溶液的哈梅克常数对最大深宽比的影响 | 第77-78页 |
| 5.2.5 r/d0对转移介质中金属颗粒体积比的影响 | 第78-79页 |
| 5.3 小结 | 第79-81页 |
| 6 结论及展望 | 第81-84页 |
| 6.1 结论 | 第81-82页 |
| 6.2 研究中发现的问题及展望 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-89页 |
| 个人简历、在学习期间发表的学术论文以及科研成果 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |