微热板中微尺度气体传热特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究的背景和意义 | 第9-12页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第9-11页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 微尺度气体传热研究 | 第12-16页 |
| 1.2.1 气体传热理论 | 第12-14页 |
| 1.2.2 微尺度气体传热发展现状 | 第14-16页 |
| 1.3 论文研究的主要内容 | 第16-18页 |
| 2 研究方法和微热板测试结构 | 第18-32页 |
| 2.1 研究方法 | 第18-22页 |
| 2.1.1 理论研究方法 | 第18页 |
| 2.1.2 数值模拟仿真 | 第18-20页 |
| 2.1.3 实验研究方法 | 第20-22页 |
| 2.2 微热板测试结构 | 第22-31页 |
| 2.2.1 微热板制作工艺 | 第23-26页 |
| 2.2.2 微热板结构 | 第26-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 微热板表面自然对流换热研究 | 第32-42页 |
| 3.1 测试原理 | 第32-34页 |
| 3.1.1 测试结构 | 第32页 |
| 3.1.2 传热分析 | 第32-34页 |
| 3.1.3 测试方法 | 第34页 |
| 3.2 测试结构的设计和制作 | 第34-36页 |
| 3.3 实验 | 第36-38页 |
| 3.3.1 实验测量 | 第36-38页 |
| 3.3.2 不确定性分析 | 第38页 |
| 3.4 测试方法有限元仿真 | 第38-41页 |
| 3.4.1 有限元仿真分析 | 第38-39页 |
| 3.4.2 测试方法有限元仿真 | 第39-41页 |
| 3.5 结果讨论 | 第41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 微热板气体间隙传热特性研究 | 第42-59页 |
| 4.1 测试原理 | 第42-44页 |
| 4.1.1 测试结构 | 第42-43页 |
| 4.1.2 传热分析 | 第43页 |
| 4.1.3 测试方法 | 第43-44页 |
| 4.2 测试结构的设计思路 | 第44页 |
| 4.3 220nm空气间隙微热板 | 第44-49页 |
| 4.3.1 设计 | 第44-45页 |
| 4.3.2 制作 | 第45-47页 |
| 4.3.3 测量 | 第47-49页 |
| 4.4 550nm空气间隙微热板 | 第49-52页 |
| 4.4.1 设计 | 第49页 |
| 4.4.2 制作 | 第49-50页 |
| 4.4.3 测量 | 第50-52页 |
| 4.5 1900nm空气间隙微热板 | 第52-55页 |
| 4.5.1 设计 | 第52页 |
| 4.5.2 制作 | 第52-53页 |
| 4.5.3 测量 | 第53-55页 |
| 4.6 结果分析 | 第55-58页 |
| 4.7 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
