悬浮型石墨烯压力传感器仿真研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.2 国内外现状及关键问题分析 | 第8-14页 |
| 1.2.1 悬浮型石墨烯压力传感器的提出 | 第9-11页 |
| 1.2.2 悬浮型石墨烯传感器的发展 | 第11-14页 |
| 1.2.3 关键问题分析 | 第14页 |
| 1.3 论文研究内容 | 第14-16页 |
| 2 石墨烯薄膜压阻特性研究 | 第16-32页 |
| 2.1 引言 | 第16-17页 |
| 2.2 石墨烯薄膜压力敏感特性的研究 | 第17-24页 |
| 2.2.1 有限元仿真研究 | 第17-22页 |
| 2.2.2 基于薄膜的大扰度理论模型 | 第22-24页 |
| 2.3 压力对石墨烯带隙的影响 | 第24-28页 |
| 2.4 压力对石墨烯中载流子迁移率的影响 | 第28-31页 |
| 2.5 小结 | 第31-32页 |
| 3 压阻式悬浮型石墨烯压力传感器的性能仿真 | 第32-53页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 一般结构传感器的性能仿真研究 | 第32-41页 |
| 3.3 高灵敏型传感器的性能仿真研究 | 第41-51页 |
| 3.4 小结 | 第51-53页 |
| 4 电容式悬浮型石墨烯压力传感器的设计及仿真研究 | 第53-65页 |
| 4.1 引言 | 第53-54页 |
| 4.2 一般型的设计及仿真研究 | 第54-59页 |
| 4.3 高灵敏型的设计及仿真研究 | 第59-63页 |
| 4.4 小结 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
